Gebraucht ACCRETECH / TSK UF 200SA #293677320 zu verkaufen

ACCRETECH/TSK UF 200SA ist ein spezialisierter Prober für hochpräzise Messungen in Halbleiteranwendungen. Dieses Gerät verfügt über einen 200 mm Abtastbereich und ein konformes Spannfutterdesign, das das Sondieren einer Vielzahl von Halbleitermaterialien wie Siliziumwafer, OAMT-Wafer und viele andere ermöglicht. TSK UF200SA besteht aus einer Vielzahl von Hardware- und Softwarekomponenten, die auf Harmonie ausgelegt sind. Das Hauptstück der Hardware ist ACCRETECH UF 200 SA prober Haupteinheit. Es ist ein Controller, der den Gesamtbetrieb des Probers verwaltet und alle seine Systemdaten speichert. Diese Haupteinheit besteht weiterhin aus einem CVM (Central Valve Module) und einem PICM (Precision Interchangeable Chuck Module). Der CVM ist ein hochpräziser Druckregelmechanismus für die Auflageflächen der Probe. Es wird mit einer Auflösung von 0,01 Pa druckgesteuert und ermöglicht eine präzise Positionierung von Sonden und Spitzen. Das PICM ermöglicht eine präzise Feinjustierung der Stützstruktur der Probe an die Sonde. Darüber hinaus ist TSK UF 200 SA mit fortschrittlichen Softwaremethoden für Probenausrichtungs- und Messprogramme ausgestattet. Seine Bewegungssteuereinheit basiert auf einer Rückkopplungssteuerungsmaschine, die die Position von Sonden für präzise Messungen genau einstellen kann. Die Genauigkeit der Probenpositionierung beträgt bis zu 0,1 μ m, und ACCRETECH/TSK UF 200 SA kann S-Parameter mit einem Frequenzgang von bis zu 70 MHz erzeugen. Zur Herstellung von In-situ-Prozessüberwachungssystemen auf Testwafern verfügt UF 200SA über eine Verriegelungseinheit, die an thermische Prozess-, Sputter- und Plasmaätzsysteme angeschlossen werden kann. Die Verriegelungseinheit liefert Informationen wie Prozesszeit, Temperatur und Druck an den Hauptproberregler. Dadurch kann die Haupteinheit entsprechend reagieren und dementsprechend Proberaktionen wie Sondeneinspritzung und Vakuumsteuerung durchführen. Darüber hinaus ermöglicht diese Einheit auch die Implementierung von Echtzeit-Intrusionsprävention durch eine Reihe von eingebauten Sensoren und Detektoren. ACCRETECH UF 200SA ist ein vielseitiges Prober-Tool, das verschiedenste Sondierungs- und Messaufgaben mit hoher Präzision erledigt. Die erweiterte Bewegungskontrolle sorgt für eine präzise Musterpositionierung und die Softwaremethoden können so konfiguriert werden, dass sie automatisch Schritte wie Beispielausrichtung und Sondenauswahl ausführen. Schließlich ermöglicht die Verriegelungseinheit die Integration von Prozessüberwachungssystemen auf Testwafern.