Gebraucht ACCRETECH / TSK UF 3000 #9354561 zu verkaufen
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ACCRETECH/TSK UF 3000 ist ein voll funktionsfähiger Prober, der in der Halbleiterindustrie zur Inspektion und Prüfung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Der Prober wurde entwickelt, um eine breite Palette von Analysefähigkeiten anzubieten, einschließlich Proben auf Produktionsebene, Auswertung und Feinabtastung, FIB-Querschnittsanalyse, Wafer-Mapping und TEM-Probenvorbereitung. TSK UF 3000 besteht aus mehreren Modulen, einschließlich einer Probenstufe, Ionenstrahlsteuerung, Wafer-Mapping-Software und Wafer-Ausrichtungssteuerung. Die Probenstufe ist sowohl für hartes als auch weiches Probenhandling ausgelegt und wird mit einer optionalen In-Stage-UV-Lichtquelle geliefert. Die Oblate, die Software kartografisch darstellt, zeigt eine ergonomische Benutzerschnittstelle und Hochleistungsdatenerfassungsalgorithmen, die berücksichtigen schnell und genau Echtzeit-kartografisch darzustellen. Die Wafer-Ausrichtungssteuerung umfasst Funktionen wie automatische Pegel- und Achsausrichtung und Kompensation. Der Prober enthält auch ein Ionenstrahl-Steuermodul, das mit einer hochpräzisen XY-Antriebsausrüstung geliefert wird. Dieses System verfügt über eine Hochleistungs-Ablenkeinheit, eine hochpräzise XY- und Z-Steuerung sowie eine Sample-on-the-Fly-Funktion, die ein Hochgeschwindigkeits-Scannen ermöglicht. Der Ionenstrahl kann für Tiefgrabenbilder, Querschnitte und Schichtätzen verwendet werden. Darüber hinaus verfügt die Maschine auch über ein Schnellladeausgleichswerkzeug zum Probenschutz. ACCRETECH UF3000 enthält auch ein FIB (Focus Ion Beam) Querschnittsanalysemodul, das für die Feinsondierung und hochauflösende TEM-Probenvorbereitung konzipiert ist. Diese Ausstattung ermöglicht eine breite Palette von Probenvorbereitungsmöglichkeiten wie Rückseitenätzen, Rückseitenabheben, unidirektionales Abheben und Dünnschichtätzen. Schließlich bietet UF3000 Prober auch umfassende Umweltüberwachungsfunktionen. Dazu gehören Schwingungserkennung und -analyse sowie Temperatur- und Feuchtigkeitsüberwachung. Dies ermöglicht konsistente Ergebnisse und stellt sicher, dass alle Messungen unter optimalen Bedingungen durchgeführt werden.
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