Gebraucht AXCELIS / FUSION 493095 #9216266 zu verkaufen
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AXCELIS/FUSION 493095 ist eine fortschrittliche Sondierungsausrüstung, die speziell für den Einsatz in fortgeschrittenen Halbleiterherstellungsprozessen wie 3D-Paket, Flip-Chip, Silizium, MEMS und durch Silizium über (TSV) Technologien entwickelt wurde. Dieses System ist in der Lage, große Produktionen zu handhaben und unterstützt eine Vielzahl von Sondierungsstrategien. FUSION 493095 ist eine leistungsstarke, schlüsselfertige Produktionssondiereinheit. Es ist mit bis zu vier Sondenkarten ausgestattet, die eine hohe Flexibilität für die Halbleiterproduktion bieten. Mit jeder Sondenkarte kann die Maschine bis zu vier gleichzeitige Messungen durchführen, was höhere Ausbeute ermöglicht. Die Wafer-Ausrichtungsfähigkeit des Werkzeugs gewährleistet einen präzisen Tasterkontakt mit minimaler Oberflächenverzerrung und bietet eine höhere Abtastgeschwindigkeit durch seine indirekte Bildvisionierung. Die Sondenausrichtung an diesem Modell erfolgt durch Scannen der Waferoberfläche mit einem indirekten Visionierungsgerät, das die Waferposition erfasst. Dieser Abtastvorgang erfolgt durch eine hochauflösende Laserausrichtung in Kombination mit einer hochauflösenden Kamera, die das Zentrum des Wafers und seine Merkmale lokalisiert. Dieses Visionierungssystem ermöglicht die genaue Ausrichtung jeder Matrize auf dem Wafer, was die Düsen-zu-Düsen-Variation während der Produktionssondierung minimiert. AXCELIS 493095 verfügt auch über eine automatisierte Makro- und Mikro-Servoeinheit, die Wafer-Wohnungen in der Produktion kompensiert. Seine unabhängigen Mikro- und Makro-Servos sind in der Lage, Sondenpositionen bis zu sieben Mikrometer pro Schritt einzustellen, um einen hochgenauen Kontakt mit Waferoberflächen zu ermöglichen. Darüber hinaus bietet die umfangreiche Makrospur-Bibliothek eine große Auswahl an vordefinierten und anpassbaren Waferkarten für verschiedene Sondierungstechniken. 493095 umfasst ein offenes Architekturdesign mit voller PCI-Express-Kommunikationsschnittstelle und eine SCSI-Kompatibilitätsoption. Die Softwareumgebung ermöglicht eine sichere Netzwerkkommunikation und ermöglicht eine Vielzahl von Netzwerkfunktionen wie FTP, digitale Zertifikate und Verschlüsselungsschlüssel. Diese Maschine bietet auch visuelle Rückmeldung in Echtzeit auf das flexible Array von Parametern, die überwacht werden können, und es ermöglicht eine breite Palette von Tests, einschließlich Wafer-Test, sterben Test, und Wiederholen Modi. Insgesamt ist AXCELIS/FUSION 493095 ein fortschrittlicher Hochleistungsprober für Halbleiterherstellungsprozesse. Die automatisierten Ausrichtungs- und Servosysteme sorgen für höchste Genauigkeit bei der Sondierung und die vollständige PCI-Express-Kommunikationsschnittstelle sowie die SCSI-Kompatibilität sorgen für zuverlässige Vernetzung und Echtzeit-Feedback. Es bietet ein hohes Maß an Flexibilität und Kontrolle, die es ideal für eine Vielzahl von Produktionssondierungsanforderungen machen.
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