Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC PA 300 #9353318 zu verkaufen

Hersteller
KARL SUSS / MICROTEC
Modell
PA 300
ID: 9353318
Wafergröße: 8"-12"
Weinlese: 2003
Prober, 8"-12" 2003 vintage.
KARL RUß/MICROTEC PA 300 ist ein Prober, der für 1,5 μ m-5 μ m Sondierungsanforderungen mit hohen IC-Anforderungen ausgelegt ist. Es ist gut geeignet für die Durchführung von Prozessüberwachung, Transistorcharakterisierung, Transistorübertragungskurven, Waferüberwachung, Grenzabtastüberwachung und Prüfung einer Vielzahl von Bauelementen und Komponenten. Dieser Prober bietet hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Seine automatisierten Wafer-Handling-Fähigkeiten, geringe Auswirkungen, schnelles thermisches Zyklus und hohe Sondierungsgeschwindigkeiten machen es hervorragend für High-End-IC-Produktion. MICROTEC PA 300 ist ein automatisierter, mehrachsiger Wafer-Prober mit Proberbasis, Waferhalter, Sondierkopf, Wafer-Mapping-Ausrüstung und Bewegungssteuerungssystem. Seine mehrachsige Bewegungssteuerung ermöglicht komplexe Bewegungen und Sondierungsbewegungen. Diese Maschine sorgt für hohe Präzision und Wiederholbarkeit über lange Laufzeiten. Sein Waferhalter ist eine Doppelversion mit einer oberen und unteren Platte, die für eine einfache und sichere Wafer-Handhabung ausgelegt sind. KARL RUß PA300 verfügt über ein schnelles, hochauflösendes thermisches Radfahrwerkzeug zur schnellen Prozessüberwachung. Die Anlage hat je nach Temperaturbereich eine Zykluszeit von 5-60 Sekunden und die VCC-Heizrate (bis 65 ° C/s) sorgt für schnelle Messungen. Der Temperaturzyklus erfolgt über eine präzise Peltier-Regelung. Der Prober hat auch eine Reinraumkompatibilitätsoption, die eine effektive Arbeitsumgebung gewährleistet, indem die Station staubfrei und gut kontrolliert ist. Dieses Modell verfügt auch über eine erweiterte automatische Wiederherstellungsfunktion, die die Station kontinuierlich überwacht und ihre Einstellungen automatisch wiederherstellt, wenn das Modell oder der Prüfprozess fehlerhaft ist. KARL RUß/MICROTEC PA300 hat eine Gesamtsondierungsgeschwindigkeit von 2,25 m/s, 0,5 μ m Achsenwiederholbarkeit, 0,9 μ m Linearitätsfehler, 5 cm/s Motordrehzahl und 0,5 μ m Programmierauflösung. Es verwendet einen erweiterten Roboterarm, um den Tastkopf zu den Sondenplatzierungskoordinaten zu bewegen. Die automatische Wafer-Handhabung ermöglicht einen schnellen Waferaustausch mit Kassettenausrüstung und Roboterarm mit einer radialen Reichweite von 1000 mm. Zusammenfassend ist PA300 ein hochgenauer und zuverlässiger Prober, der für 1,5 μ m-5 μ m Sondierungsanforderungen von High-End-ICs entwickelt wurde. Das automatisierte Wafer-Handling, schnelles thermisches Cycling, hohe Auflösung und leistungsstarke Bewegungssteuerung machen es zu einer idealen Lösung für komplexe Probing- und Prozessüberwachungsaufgaben.
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