Gebraucht KLA / TENCOR 1201 #9122036 zu verkaufen

KLA/TENCOR 1201 ist ein hochleistungsfähiger, automatisierter Prober zur Präzisionskartierung und Messtechnik von Metallisierungsmustern, Photolithographie und Oxid/Polyimid-Schichten auf Halbleiterscheiben oder Chips. Der Prober bietet Genauigkeit und Wiederholbarkeit für eine genaue Fehleranalyse und Prozesskontrolle. Die Standard-KLA 1201 verfügt über einen automatisierten Wafer-Handler, der algorithmische Stufen mit FastScan-Sondenfunktion lädt und eine berührungslose Sondierung mit optischer Erkennungsausrichtung ermöglicht. Ein zweistufiger Bewegungsmechanismus sorgt für eine reibungslose und genaue Werkzeugpositionierung und einen breiten Arbeitsbereich × größere Wafer. Die Probenmusterung ist mit 8 Sonden mit einer Auflösung von 332 x 445 µm für ultrafeines Sondieren möglich. TENCOR 1201 bietet zudem eine automatisierte Fokuspunktoptimierung und echte Planheitsmessung. 1201 bietet eine Reihe von Funktionen zur Steigerung der Produktivität und des Durchsatzes. Parallax Mapping, MultiLayer Mapping und ProbEncoding Technologie ermöglichen Geschwindigkeit und Genauigkeit für die Abbildung von Halbleiterschichten. Automatisierte Module bieten eine effiziente Prozessausführung, die hohe Geschwindigkeit, Werkzeuggenauigkeit und reibungslose Plattformbewegung kombiniert. Die CoaXPress CXP4 Schnittstelle unterstützt bis zu 4 Kameras für integrierte Anwendungen. Diese Funktion ermöglicht eine schnelle Datenübertragung mit einer TDI-Datenrate von bis zu 5,0 Gb/s pro Kamera und einem hochkonfigurierbaren System. KLA/TENCOR 1201 ist mit vielen Funktionen ausgestattet, um eine präzise Ausrichtung der Wafer zu gewährleisten und eine scharfe Bildqualität zu gewährleisten. Ein fortschrittliches SmartAlignTM-System führt Hochgeschwindigkeits-Wafer-geometrische Messung und schnellen Autofokus für Wafer und die Basedmap-Inspektion durch. Weitere Funktionen sind AutoAlignTM zur Kompensation der Wafer-Topographie auf der Stanzebene und eine flexible Plattform zur Minimierung der Planungszeit und zur Reduzierung der pri-Testkosten. Eine MACROTEK-Sensortechnologie ermöglicht die Präzisionsregistrierung auf der Matrize mit einer Registriergenauigkeit von 3,3 µm @ 3 Sigma. Das fortschrittliche Probehead-Design umfasst ein- und doppelseitige Kontaktarme, mehrere x-y-Feinpositionierungsstufen für erhöhten Durchsatz und Messgenauigkeit. KLA 1201 prober wird in Halbleitergießereien zur Analyse mikroskopischer Komponenten auf Wafern eingesetzt und wird auch für Business Continuity/Disaster Recovery, Photomasken-Wartung, Prozesssteuerung und Fehlerbehebung eingesetzt. Es ist ideal für die Halbleiterherstellung mit Eigenschaften für erhöhte Effizienz, Genauigkeit und Konsistenz.