Gebraucht SEMICS Opus II #9134401 zu verkaufen

Hersteller
SEMICS
Modell
Opus II
ID: 9134401
Wafergröße: 6"-12"
Weinlese: 2008
Prober, 12" Chuck top: Nickel (Hot / Cold) Cold option Temperature: -55° C ~ 150° C Cold temperature: -55°C Air: Tube Vacuum: Tube Head plate Monitor Needle cleaning unit: Square type Manipulator GST TCSG-PR100S Chiller APC Card holder Hinge Probe card changer Docking with T5377S Power: 200-240 V 2008 vintage.
SEMICS Opus II ist ein SEM-Prober für die Halbleiterprüfung. Sie ist in der Lage, elektrische Parameter wie Schwellenspannung, Gate-Leckstrom und Kanalträgerbeweglichkeit sowie Messungen von kleinflächigen Oberflächentopologien zu messen. Die große Größe des Probers ermöglicht es, mehrere Geräte gleichzeitig auf demselben Wafer zu messen, während die Genauigkeit und Genauigkeit der Maschine präzise Messungen ermöglichen. Opus II besteht aus einer Vakuumhülle, einer Strahlsäule und einer Bühnenbaugruppe, einer Sondenstation und einem Probenhalter. Die Vakuumhülle dient als Umgebung, in der die zu prüfende Probe im Vakuum gehalten werden kann. Die Strahlsäule und die Bühnenbaugruppe beherbergen die elektronenoptischen Komponenten, nämlich die Elektronenkanonenquelle, elektromagnetische Linsen und eine Zielbaugruppe. Die Sondenstation ist so konzipiert, dass sie die Sonde exakt an der Probenoberfläche montiert und manipuliert. Es enthält auch die notwendige Elektronik für die Vorspannung und elektrische Prüfung des zu prüfenden Geräts. Der Probenhalter dient als Wärmequelle und ist für die Aufnahme von bis zu vier Wafern gleichzeitig ausgelegt. SEMICS Opus II nutzt ein Feldemissionsrasterelektronenmikroskop (FE-SEM). Diese Art von SEM verwendet eine Elektronenkanone anstelle einer herkömmlichen thermionischen Quelle, was bedeutet, dass sie nicht durch die Auswirkungen der thermischen Energie begrenzt ist. FE-SEMs sind in der Lage, detaillierte Bilder von kleinen Oberflächentopologien bereitzustellen und auch elektrische Messungen von kleinen Geräten zu ermöglichen. Opus II bietet zudem verschiedene Unterstützungsfunktionen, die eine genaue Messung der zu prüfenden Geräte ermöglichen. Die Probenoberfläche kann zur präzisen Anbringung der Sonde an der Vorrichtung automatisch kalibriert werden. Es ermöglicht auch eine rückseitige und vorderseitige Abbildung sowie eine elektrische Prüfung, um Parameter wie Schwellenspannung, Widerstand und Kapazität zu messen. SEMICS Opus II ist ein fortschrittlicher Prober, der zuverlässige und genaue Testergebnisse für Halbleiterbauelemente liefert. Es ist in der Lage, mehrere Geräte auf dem gleichen Wafer zu messen und kann detaillierte Bilder von kleinen Oberflächentopologien sowie präzise elektrische Messungen liefern. Es ist ein wirksames Werkzeug zur Inspektion und Prüfung der Leistung von Halbleiterbauelementen.
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