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SEMICS Opus II ist eine fortschrittliche Sondierungsausrüstung, die von SEMICS International, Inc. für Halbleiterherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Opus II ist ein flexibles, hochautomatisiertes System, das fortschrittliche Sondierungslösungen mit sehr hoher Präzision anbietet. Es verfügt über eine automatisierte, hochpräzise Werkzeug- und Wafer-Handhabungseinheit mit einer maximalen Arbeitsfläche von 200mm mal 300mm. SEMICS Opus II verfügt außerdem über eine hochgenaue lineare Stufenmaschine zum Bewegen der Sonde über einen Wafer und einen Hochleistungsspindelmotor für Präzisionsfräsen und Schleifen. Opus II ist in der Lage, verschiedene Arten von Materialien zu sondieren, einschließlich Aluminium, Blei, Glas und Ferrit. Mit seinem speziellen Handhabungswerkzeug kann er problemlos Lasten von bis zu 30 Pfund bei Geschwindigkeiten von bis zu 30 mm/s bewegen. Seine engen Toleranzen erlauben es, eine Auflösung von 0,2um zu erreichen, während er eine Kraft von bis zu 50 Newton liefert. Es enthält auch ein integriertes Werkzeug zur Teileprüfung, das Einblick in den Schneidprozess mit einer dynamischen 3D-Ansicht gibt. SEMICS Opus II verfügt über eine Reihe spezifischer Merkmale, die die Produktionskapazität und Genauigkeit maximieren sollen. Es beinhaltet ein integriertes Vision-Asset, das Mikrofehler erkennen und Zeilen scriben kann, die den Prozess nicht beeinflussen. Es verfügt auch über ein patentiertes kontaktloses Potentometer, mit dem der Benutzer einstellbare Kontakte herstellen kann, sowie ein Echtzeit-Feedback-Modell für die Sondierungsgenauigkeit. Darüber hinaus verfügt das Opus 2 über einen Roboterarm, der zur Unterstützung der manuellen Werkzeuge ausgelegt ist. Dieser Arm kann für verschiedene Arbeitsanwendungen eingestellt werden und kann das Werkstück drehen, auswählen, sammeln und positionieren. Der Roboterarm besteht aus sieben Gelenken und kann eine maximale Arbeitsgeschwindigkeit von 15m/s erreichen. Darüber hinaus beinhaltet es auch eine fortschrittliche Kraftmanagementausrüstung, die Geräteschäden während des Betriebs vorbeugt. Das integrierte Advanced Test/Verification System von Opus II bietet eine umfassende Suite an vektorbasierten, signalanalytischen und visuellen Diagnostika. Es kann bis zu 256 Pfade analysieren und verfügt über umfangreiche Fähigkeiten für Oszilloskop, Leistungsspektrum und logische Datenanalyse. Dieses Gerät enthält auch spezialisierte Testinstrumente wie Präzisions-Sechs-Zoll-Sonden, eine Präzisions-Vier-Zoll-Sonde, eine hochgenaue lineare Stufe und einen komplexen Logik/Daten-Timer. Diese Maschine ist in der Lage, genaue Messungen auf Mikron-Ebene Funktionen zu machen, und es kann auch die Daten analysieren latente Fehler zu erkennen, oder potenzielle Fehler in den Herstellungsprozessen. SEMICS Opus II ist ein äußerst vorteilhaftes Werkzeug für die Halbleiterproduktion. Es kann nicht nur Produktionskapazität und Genauigkeit verbessern, aber es kann auch Ertrag erhöhen und Kosten reduzieren. Dies ist auf das automatisierte Werkzeug, die hochpräzise lineare Stufe und die integrierten Prüf-/Verifikationssysteme zurückzuführen.
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