Gebraucht SEMISHARE SX12 #9259731 zu verkaufen
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ID: 9259731
Wafergröße: 12"
Automatic DC probe station, 12"
Sealed micro chamber
EMI / Light / Noise
Chuck, 12" with central vacuum hole
Vacuum rings for sample holding
Super low noise tri-axial chuck
Output tri-axial adapter
Chuck flatness: 5µm
Chuck quick roll out mechanism for fast wafer exchange
Probe card and probe card holder are adaptable to platen
Platen can load up to (12) micro-positioners
EMI Shielding: > 30 dB (Typical) at 1 kHz to 1 MHz
Light attenuation: 130 dB
Spectral noise floor: ≤ -180 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)
System AC noise: ≥ 5 mVp-p (≤ 1 GHz)
Optimized microchamber for less CDA consumption
Chuck XYZ-Theta
4 Axes
High precison motorized stage
Controlling system
Travel range: 350 x 500 x 20 mm
X, Y, Z Direction motion resolution: Minimum 0.1 microns
Repeatability: ± 1µm
Accuracy: ± 2µm
Chuck angle rotation range: ± 10°
Theta resolution: 0.0001°
Theta repeatability: 0.0005°
Theta accuracy: 0.001°
Maximum speed:
X/Y Axis: 70 mm/s
Z Axis: 20 mm/s
Chuck driver mechanism:
Zero backlash design
Grinded ball screw and linear guide rail
Chuck stage axes:
Linear scale resolution: 0.1 µm
Microscope XYZ motorized stage and controlling system
Microscope XYZ travel: 2" x 2" x 5"
Maximum speed: > 10 mm/s
Computer connection port:
RS232/485
TCP/IP
GPIB
Motors: Low noise DC motor
Anti-vibration table
SEMISHARE 3 Zoom
High resolution long working distance microscope
Three-speed zoom microscope 15:1
Display low magnification: 0.6x
Display high magnification: 2.5x / 9x
Microscope focus block:
Z Travel: 50.8 mm
Resolution: 1µm
(2) CCD Adapters inside
C Mount adapter
High power white light source: 150 W
Objective: 5x
WD: 34.0 mm
NA: 0.14
Visual magnification: 120-1,800x
(2) Industrial HD (2 Million pixels) CCD
SONY CMOS 2/3"
Resolution: 1920 x 1200
Frame: 30 fps
GigE Interface
(2) SEMISHARE SS-100 Micropositioners
Magnet base with switch
Linear XYZ travels: 12 mm
Linear motion
Probing Inclination: 0-30°
Accuracy: 0.7 microns
(2) AMERICAN PROBE & TECHNOLOGIES 74CJ-APT-KS Kelvin coaxial probe holders
One probe tip
Tip radius: 0.5/1.5/5/10/12.5/15/20 um
AMERICAN PROBE & TECHNOLOGIES 73CT-APTA
Replaceable coaxial probe
Tip radius: 0.5/1.5/5/10/12.5/15/20 um
MEDO VP 125
Silent oil-free vacuum pump 7 l/min
Air compressor
Noise level: 52dB.
SEMISHARE SX12 ist ein hochentwickelter Prober, der in der Halbleiterprüfung verwendet wird. Es ist ein spezialisiertes Werkzeug zur Sondierung der Kontaktpunkte in aktiven Bauelementen oder Bauelementen, wie integrierten Schaltungen oder Transistoren. Es bietet eine Sondierungslösung, die in der Lage ist, Ziele mit einer extremen Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu erreichen. SX12 Prober enthält einen präzisen, Hochgeschwindigkeits-Prüfkopf auf Siliziumbasis. Es ist in eine in sich geschlossene Wafer-Prober-Struktur integriert, die Kontaktpunkte genau finden und messen kann. Der Prüfkopf bietet eine extrem hohe Genauigkeit von 0,5 Mikron (1,27 x 10-5 Zoll). Dadurch können extrem kleine Komponenten getestet werden, was zu den erweiterten Gerätetestfähigkeiten von SEMISHARE SX12 beiträgt. Neben dem ausgeklügelten Prüfkopf verfügt SX12 auch über eine präzise staubfreie Wafer-Montageplattform. Dieser sichere Kontakt bietet ein Mittel, um die Probe vor einer möglichen Mikrokontamination zu schützen. Der Wafer wird mit einem hochwertigen pneumatischen Spannsystem montiert. SEMISHARE SX12 prober bietet auch hochentwickelte Automatisierungsfunktionen. Es enthält ein programmierbares Pfadgenerierungssystem, das eine Reihe von T-way, X-Y und Tiefenscans kombinieren kann. Die Sonde kann auf Probenziele zugreifen und Informationen aus Höhen von bis zu 0,05 Mikron genau messen. Es umfasst auch automatisierte Verstärkungskontrolle und Stabilitätskalibrierungsfunktionen und erweitert seine automatisierten Testfähigkeiten weiter. SX12 ist ein innovativer Prober, der Genauigkeitsstandards erreicht, die in keinem anderen auf dem Markt erhältlichen Produkt zu finden sind. Die hohe Genauigkeit des Prüfkopfes sowie seine umfassenden Automatisierungsfunktionen bieten Halbleiterherstellern ein Werkzeug zur Messung extrem präziser Kontaktpunkte in aktiven Bauelementen oder Bauelementen. Ob es mit integrierten Schaltungen, Transistoren oder jeder anderen Form von Halbleitern arbeitet, SEMISHARE SX12 prober kann eine Genauigkeit erreichen, die in keinem anderen Werkzeug gefunden wird.
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