Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON 20S #9069027 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON 20S
Hersteller
TEL / TOKYO ELECTRON
Modell
20S
ID: 9069027
Probers.
TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON 20S ist ein manueller Düsenprober, der für die Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Der Prober verfügt über einen 40 mal 40 Millimeter großen Auslegerarm mit einem Radius von 5 Mikrometern und einer gleichmäßigen statischen und dynamischen Ebenheit von 2 Mikrometern oder weniger. Der Arm ist auf einem 5 Millimeter dicken Edelstahlrahmen montiert, der mit vertikalen und horizontalen Stabilisatoren weiter verstärkt wird. Seine zwei getrennten und unabhängig voneinander betätigbaren Fünf-Achsen-Motorstufen arbeiten bei 0,00017 Grad Auflösung. Der Prober ist mit einem Probenbeladesystem, einer Vakuum-Nivellierwaferstufe sowie 3D-Mikroskop- und Laserausrichtungssystemen ausgestattet. TEL 20S bietet eine überlegene Bewegungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit von 0,1 Mikrometer oder weniger in allen fünf Achsen. Sein einstellbarer Probenhalter und Nivellierer kann 15mm- 215mm Wafer und einen maximalen Auftrieb von 12 Mikrometern unterstützen und leistungsfähige und genaue Probengrößenerkennung und -ausrichtung schaffen. TOKYO ELECTRON 20S ermöglicht auch Routinetests und Rapid Thermal Processing (RTP) mit Mehrzonen-Temperaturregelung. Es arbeitet mit drei getrennten Zonen: Probe und Heizung, Spannfutter und Wafer. Der Prober hat eine breite Palette von programmierbaren Parametern, einschließlich Druck, Verschiebung, Spannung, Zeit und Temperatur. 20S wurde mit Blick auf Zuverlässigkeit und Leistung entwickelt. Sein leichter Rahmen verhindert Vibrationsstörungen und sein Zwangsbelüftungssystem ist mit einer hohen Geschwindigkeit niedrigen laminaren Durchfluss entwickelt, um luftgetragene Partikelverschmutzung zu minimieren. Es verfügt über ein Field Programmable Gate Array (FPGA) zur schnellen und hochpräzisen Bewegungssteuerung. TEL/TOKYO ELECTRON 20S ist auch mit mehreren Sicherheitsmerkmalen und reichlich eingebauten Test- und Messfunktionen konzipiert. Der Prober bietet eine effiziente Wärmesteuerung, die Temperaturen bis -60 ° C und bis + 400 ° C kontrollieren kann. Schließlich verfügt es über eine einfache, aber intuitive grafische Benutzeroberfläche für einfache Bedienung und Konfiguration.
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