Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9102643 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL Prober ist eine vielseitige und zuverlässige automatisierte Inspektionsanlage, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es ist entworfen, um präzise und genaue Messungen von Halbleiterbauelement-Wafern, gemusterten Wafer und Maske abgestuften Oberflächen und Packungsleiterrahmen zur Verfügung zu stellen. Der Prober verfügt über eine große luftgekühlte X-Y-Z-Stufe und zwei motorisierte Spannfutter zur Halterung und Positionierung des Wafers, der Maske oder des Leiterrahmens. Die X-Y-Z-Stufe bietet eine kontrollierte und präzise Bewegung für die Positionierung in der X- und Y-Achse mit einem Bereich bis zu 2 mm und einer hohen Auflösung von 0,1 µm in der Z-Achse. Der Prober ist zudem mit einer optionalen Ausrichteinrichtung zur genauen Beladung des Substrats auf die Proberstufe ausgestattet. Um eine zuverlässige und wiederholbare Messung zu gewährleisten, ist TEL P12XL Prober mit einem hochauflösenden Vibrationsisolationssystem ausgestattet, um die Auswirkungen von äußeren Vibrationen und Temperaturen auf die Präzision der Proberergebnisse zu reduzieren. Der Prober enthält auch eine vollständig kalibrierte Dreheinheit mit einer Winkelwiederholbarkeit von 0,007 °. Darüber hinaus ist der Prober mit einem Positionsstabilitätsmonitor ausgestattet, der Rückmeldungen zur Stabilität des Probers während der Messzyklen liefert und eine automatische Wartung ermöglicht. Um Ausfallzeiten zu minimieren und eine hocheffiziente Automatisierung der Gerätetests zu ermöglichen, bietet TOKYO ELECTRON P 12 XL Prober eine vollständige Palette an erweiterten Steuerungs- und Überwachungsfunktionen. Der Prober umfasst eine integrierte Überwachungseinheit mit integrierter Diagnose, mit der Benutzer ihre Proberleistung kontinuierlich überwachen und verwalten können. Beispielsweise kann die Maschine anormale Maschinenbewegungen, Temperaturänderungen, Vakuum- oder Gasströmungen erkennen und Korrekturmaßnahmen durchführen. Das Steuerwerkzeug auf dem Prober bietet auch eine Visualisierungsplattform für Benutzer, um die Operationen zu steuern und zu überwachen. Der Anwender kann über eine grafische Benutzeroberfläche mehrere Jobs und Programme einrichten, die komplexe Inspektions- und Messroutinen ermöglichen. Schließlich ist TEL/TOKYO ELECTRON P 12 XL Prober für Prozessflexibilität und Zuverlässigkeit konzipiert, einschließlich einer Reihe von Optionen für die Reinigung und Verarbeitung, die bei Bedarf integriert werden können. Der Prober ist so konzipiert, dass er eine langfristig zuverlässige und wirtschaftliche Leistung liefert und somit eine ideale Wahl für jeden Halbleiterhersteller ist, der nach einem zuverlässigen und produktiven Inspektionswerkzeug sucht.
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