Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON P-12XLm #293804668 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON P-12XLm ist ein Wafer-Prober für große Wafer bis 300 mm Durchmesser. Es verwendet TEL Prober Control Equipment (PCS) -Technologie, um genaue und hochstabile Wafer-Sondierungsleistung zu bieten. Dieser Wafer-Prober wurde entwickelt, um Wafer und ihre Bestandteile mit hoher Genauigkeit und Geschwindigkeit zu analysieren und die Beobachtung ihrer physikalischen und elektrischen Eigenschaften zu erleichtern. TEL P12XLM verwendet ein fortschrittliches Breitband-Dual-Sensor-System, das für eine hochgenaue Positionierung und Hochgeschwindigkeits-Kartierung ausgelegt ist. Die Doppelsensoreinheit verfügt über eine hochgenaue optische Maschine und ein kapazitives Hochgeschwindigkeits-Sensorwerkzeug. Die optische Anlage misst die Waferposition mit einem Bereich von 0,3 μ m und bietet eine maximale Wafer-Wiederholbarkeit von 0,15 μ m. Das kapazitive Modell erfasst die Waferposition mit einem Bereich von 0,05 μ m und bietet eine Wiederholbarkeit von 0,02 μ m. Zusammen bieten die beiden Sensorsysteme eine Gesamtreichweite von 0,25 μ m und eine Genauigkeit von 0,08 μ m. TOKYO ELECTRON P 12 XLM verfügt auch über erweiterte automatische Nivellierung und Nivellierung Steuerungsfunktionen, die genaue und effiziente Wafer Sondierung bieten. Eine Wafer-Behälter-Handhabung ermöglicht auch die Vorausrichtung von Wafern vor der Sondierung sowie eine effiziente Wafer-Entladung/-Beladung. Darüber hinaus bietet P-12 XLM eine breite Palette von messtechnischen Optionen, einschließlich Lasermikroskop und OBIRCH Clustering-Fähigkeiten. Die OBIRCH-Clustering-Fähigkeit ermöglicht eine hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit bei der Abbildung physikalischer Fehler im Zusammenhang mit den Parametern der Topographie, wie Höhe und Einfallswinkel. P 12 XLM ist mit einem offenen Architekturdesign gebaut, mit dem eine Vielzahl von Steuerungs- und Messperipheriegeräten in das System integriert werden können, einschließlich Quellen, Detektoren, Testern und verschiedenen Analysewerkzeugen. Dies gewährleistet eine hohe Flexibilität zur Anpassung an verschiedene Produktionsumgebungen. Insgesamt ist P-12XLm ein fortschrittlicher, genauer und sehr anpassungsfähiger Wafer-Prober, der für große Wafer entwickelt wurde. Es nutzt fortschrittliche Sensor- und Auto-Nivelliertechnologie und bietet eine breite Palette von messtechnischen Optionen, um die effiziente Analyse von Wafern und ihren Bestandteilen zu erleichtern.