Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON P-8XL #9161662 zu verkaufen
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ID: 9161662
Automatic wafer probers
Diameter: 6"-8"
Thickness: 150~1000 um
Max.Weight: 110g
Die size: 300~99999 um
Stage:
Contact accuracy(X,Y axis):
±6um (1995)
±4um Probe to pad
Contact accuracy(Z axis):
±5um (1995)
±5um
Z Chuck strength: 60kg
Deflection spec:
15um (Vertical)
8um (Horiz) @ 10kg 90mm From center
Z Acceleration: 1.0G
Z Stroke (maximum): 95mm
Z Probe range: 65.8mm to 93.3mm
Z Maximum velocity: 40mm/s
XY Stage / Platen:
Accuracy: Each axis ±2um
XY Stroke:
±118mm (X)
230~-110mm (Y)
Max. speed: 200 mm/sec
Acceleration: 2.2G
X: 2.2G
Y: 2.2G
Resolution: 0.4 um
Vibration (resonant):
X: .70 um
Y: .42 um
Overall accuracy, X,Y,Z, Q, PTPA:
X, Y and PTPA -- +/- 4 um @ 22C to 28C
Z and PTPA +/-5um @ 22C to 28C
APTPA Accuracy (Guaranteed probe marks using APTPA):
X/Y: ±6um
Z: ±5um
Chuck mechanism:
Rotation range: ±7.0 Degree
Angular resolution: 0.00022 Degree
Pre-align section:
Rotation speed: 360 Degree/sec
Alignment accuracy: XY±300um
Theta accuracy: ±0.17 Degree
Control resolution: (1) Degree
Alignment system: LED
Alignment :
Automatic self-teach & align: Yes
Temperature compensation: Every wafer
Auto set-up camera:
Bridge camera
Macro mode
Magnification: 0.41
Viewing area: 15.6 X 11.7mm
Medium mode (TEL shiva option)
Magnification: 3
Viewing area: 2.1 X 1.6mm
Micro mode
Magnification: 17.8
Viewing area: 0.36 X 0.28mm
DPS Camera:
Resolution
Macro mode
Magnification: 0.8
Viewing area: 5.85 X 7.8mm
Micro mode
Magnification: 12
Viewing area: 0.39 X 0.52mm
Display:
Type : TFT LCD Touch panel
Graphic function: Yes
Full color: (8) Colors
Bin color: Eye level
Position: Everything on LCD panel
Probe card changer:
Load & unload: Auto
Max. probe card size: 350mm
Need to do wafer unloading first: No
Parameter storage:
Remote set-up option: Yes
FDD: 3.5" 1.6M
HDD: 2.5" 352M
Manipulator:
Type: Motor
Swing motion: Stable
Remote control: Available
Hinge swing safety warning: Yes
Positioning accuracy (XYZ).
TEL/TOKYO ELECTRON P-8XL ist ein ultrapräziser, vollautomatischer Prober zur Sondierung von Wafern und anderen flachen Materialien. TEL P8XL nutzt seinen innovativen Roboterarm mit 5-Achsen-Bewegungssteuerung, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Es kombiniert eine hochpräzise Stufe, einen Hochgeschwindigkeits-Scanmesskopf und eine leistungsstarke Softwareplattform, um eine hochpräzise und effiziente Wafer-Sondierung zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON P8-XL verfügt über eine breite Palette von Wafergrößen, die mit verschiedenen kontaktlosen und kontaktlosen Abtastverfahren kompatibel sind, einschließlich Lasertriangulation, optischer lichtbasierter Abtastung und kapazitiver Bildgebung. Das System ist mit verschiedenen eingebauten Sonden ausgestattet, die es ermöglichen, eine breite Palette von Tests von Niederfrequenz über Hochfrequenzbereich durchzuführen. Es unterstützt auch erweiterte Funktionen wie Nass-, Trocken- und Flüssigkeitshandhabungsfunktionen und bietet Funktionen zur Prozesssteuerung und Automatisierung. TEL P-8 XL ist ein sehr zuverlässiger und effizienter Prober. Es verfügt über ein innovatives, einfach zu bedienendes Automatisierungssystem und Bewegungssteuerung, um Wiederholbarkeit und Genauigkeit zu gewährleisten. Sein fortschrittliches Design sorgt für geräuscharmes, schnelles Scannen mit einem breiten Dynamikbereich, während seine präzise Stufe eine hochpräzise Steuerung mit einem großen aktiven Messbereich bietet. Der Roboterarm verwendet ausgeklügelte Steuerungsalgorithmen, um seine Position entsprechend den topographischen Merkmalen der Probe einzustellen. Die Steuerbarkeit und Wiederholbarkeit des Rastermikroskops ermöglichen eine hochdurchsatzgenaue Datenerfassung. Darüber hinaus bietet TEL eine Softwareschnittstelle, um die verschiedenen Sonden und Systeme von P-8XL zu kombinieren, die es dem Benutzer ermöglichen, ferngesteuert mit dem Prober zu kommunizieren. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON P-8 XL ein zuverlässiger und kostengünstiger Prober, der für die Sondierung einer Vielzahl flacher Materialien entwickelt wurde. Die Kombination aus hoher Genauigkeit, Wiederholbarkeit und automatisiertem Betrieb macht es zu einer idealen Wahl für Halbleiter- und andere industriebezogene Anwendungen. Das benutzerfreundliche Automatisierungssystem, die anspruchsvolle Bewegungssteuerung und die Softwareschnittstelle machen es zu einer attraktiven Wahl für jedes Labor.
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