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TEL / TOKYO ELECTRON Precio Nano
ID: 9160405
Wafer prober.
TEL/TOKYO ELECTRON Precio Nano ist ein Prober, der speziell für die Inspektion von Halbleiterscheiben und verwandten Produkten entwickelt wurde. TEL Precio Nano kann verwendet werden, um Filmdicken, Korngröße, Kristallstruktur, elektrische Eigenschaften, dielektrische Parameter und mehr zu messen. TOKYO ELECTRON Precio Nano nutzt fortschrittliche Piezo-Aktuator-Technologie mit einer Gesamtabtastabdeckungsfläche von 25mm mal 25mm. Es hat eine maximale Kraftkapazität von 7N und eine maximale Abtastgeschwindigkeit von 1000mm/sec. Der Sondenkopf ist 7,2 mm hoch und mit einem integralen Annäherungsdetektor ausgestattet, der dem System hilft, einen optimalen Kontakt zu erreichen, während sichergestellt ist, dass die Sonde keine Schäden am Wafer verursacht. Dieses Konstruktionsmerkmal ist besonders vorteilhaft für empfindliche Proben, die präzise Messungen und minimale Beschädigungen erfordern. Das System verfügt auch über eine hohe Positioniergenauigkeit mit wiederholbarer Linearität von 0,25 um sowie einen eingebauten DC-Servomotor, der glatte lineare Bewegungen bei einer Geschwindigkeit von 2000mm/s mit einer Wiederholbarkeit von 0,5 m durchführen kann. Neben der Möglichkeit, alle Arten von elektrischen und strukturellen Parametern zu messen, ist Precio Nano in der Lage, Lithographie, Ausrichtungen und Messtechnik durchzuführen. Darüber hinaus ist es einfach zu bedienen, mit benutzerfreundlicher Software und einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche. TEL/TOKYO ELECTRON Precio Nano bietet eine breite Palette von anpassbaren Funktionen wie Probengröße, Positionsgenauigkeit, Abtastgeschwindigkeit und sogar Sprachoptionen. Es wird auch mit einer Vielzahl von Steuerungstools geliefert, um Tests, Scanergebnisse, Hardwareeinstellungen und Berichtsgenerierung anzupassen. Insgesamt ist TEL Precio Nano ein zuverlässiger und hocheffizienter Prober, der hohe Leistung für die Inspektion von Halbleiterbauelementen und verwandten Produkten bietet. Mit seinem effizienten Design, seiner robusten Leistung und zahlreichen anpassbaren Funktionen ist TOKYO ELECTRON Precio Nano ein hervorragendes Werkzeug für Labor- und Produktionsumgebungen.
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