Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Precio #9282715 zu verkaufen
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ID: 9282715
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2016
Prober, 12"
Loader type: FOUP
Chuck material: Nickel mirror chuck
Chuck temperature: Hot
Temperature range: Room ~+150°C
Auto wafer ID reader:
Insight OCR 1721
Auto needle alignment
Auto wafer alignment
Needle cleaning for stage:
GPIB interface
No 230mm x 150mm
No filp SACC
No WAPP
No black brush
No chuck blow
No touch pen
No color CCD Alignment camera
No (3) Eyes alignment camera
No Hard Disk Drive (HDD)
No gold plate chuck, 12"
No temperature control with chiller
No auto card change
Optical system: ASU/BCU-II
Needle mark inspection
Single loader
Color LCD Display
2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Precio ist ein Prober von TEL, einem der weltweit führenden und angesehensten Hersteller von Halbleiterproduktionsanlagen. TEL Precio ist ein berührungsloser, hochgenauer Prober für die Fotolithographie. Es verwendet zwei optische Ebenen (UV und VIS), um eine überlegene Bildgebungs- und Ausrichtungsgenauigkeit für empfindliche Halbleiterwaferoberflächen bereitzustellen. Es ist für die Produktion von Hochzykluszeiten konzipiert, die einen ungleichen Durchsatz bieten und gleichzeitig die höchste Qualität der Verarbeitung während des gesamten Prozesses aufrechterhalten. TOKYO ELECTRON Precio nutzt modernste und führende Halbleitertechnologie aus Japan. Es bietet eine direkte Ausrichtungsgenauigkeit von weniger als +/-2 Mikrometer und ermöglicht einen Repositionierungsfehler von weniger als 1micron pro Zyklus. Diese ultra-hohe Präzision wird durch eine fortschrittliche GEM-Ausrüstung ermöglicht. Das GEM-System unterstützt hochpräzise Ausrichtung und Scannen über eine Vielzahl von Wafertypen. Precio ist mit einer Echtzeit-Vision und Messeinheit ausgestattet, um genaue und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Zu den Hauptmerkmalen gehören eine Hochgeschwindigkeits-, berührungslose optische Messmaschine, fortschrittliche Bildverarbeitungstechnologie sowie Berührungs- und Bereichseinstellfunktionen. Darüber hinaus ist es mit einer Mikroskopansicht zur präzisen Partikelanalyse und Substratoberflächenkalibrierung ausgelegt. TEL/TOKYO ELECTRON Precio kann bis zu 3D-Wafergrößen verarbeiten und berührungslos bis zu 6 Geometrien messen. Sein UV/VIS-Werkzeug auf zwei optischen Ebenen bietet die Möglichkeit, in verschiedenen Tiefen unterhalb der Probenoberfläche zu messen. Das robuste Design kann bis zu drei Wafer pro Zyklus handhaben, und seine automatische Ausrichtung Asset garantiert wiederholbare und genaue Ergebnisse. TEL Precio verfügt über ein integriertes Qualitätsmessmodell (QMS), das Leistungs- und Zuverlässigkeitsbewertungsfunktionen bietet. Es ermöglicht eine vielseitige Prozessüberwachung und bietet überlegene Einblicke in die Korrelation zwischen Prozessparametern und Qualitätsergebnissen. TOKYO ELECTRON Precio ist ideal für die Verarbeitung empfindlicher Halbleiterscheiben. Es ist einfach zu bedienen mit überlegener Bildgebungs- und Ausrichtungsgenauigkeit, unter Beibehaltung eines ausgezeichneten Durchsatzes. Seine fortschrittlichen Funktionen wie duale optische Ebenen, Echtzeit-Vision und Messung und die Quality Metrology Equipment kombinieren, um Kunden einen zuverlässigen und genauen Prober zu bieten.
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