Gebraucht VEECO / DEKTAK AP 150 #161937 zu verkaufen

VEECO / DEKTAK AP 150
Hersteller
VEECO / DEKTAK
Modell
AP 150
ID: 161937
Automatic resistivity probe Missing display board and one other board.
VEECO/DEKTAK AP 150 ist ein fortschrittlicher Scanprober mit hervorragender Positionier- und Wiederholbarkeitsleistung. Es bietet seinem Vorgänger, dem AP100, eine überlegene Leistung mit einer viel höheren Genauigkeit von fünf Nanometern, einem verbesserten Z-Achsen-Weg und geringeren Geräuschpegeln. VEECO AP 150 ist ein fortschrittlicher Scanprober, der für eine breite Palette von Halbleiterforschungsanwendungen wie Fehleranalyse, Dünnschichtmesstechnik und Oberflächencharakterisierung entwickelt wurde. Es wurde entwickelt, um eine hervorragende Positionsgenauigkeit und Wiederholbarkeit für eine verbesserte Prozesskontrolle bereitzustellen. Der Prober verfügt über einen integrierten Scankopf, hochauflösende Drehgeber, eine parallele Positionierstufe und einen Z-Achsweg von bis zu 50mm. Die Ausrüstung wird durch ein Hochleistungsbewegungsregelsystem angetrieben, um genaue Bewegungskontrolle der Bühne zu bieten, während eine Reihe von Visions- und Präzisionsbewegungskontrolloptionen verfügbar ist, um den prober zu spezifischen Aufgaben kundengerecht anzufertigen. DEKTAK AP-150 verfügt über ein hochwertiges, rauscharmes Design, das bemerkenswerte Signal-Rausch-Verhältnisse für verbesserte Genauigkeit und Empfindlichkeit bietet. Die Signalaufbereitungsschaltungen sind optimiert, um eine bessere Detektion und einen geringeren Stromverbrauch zu gewährleisten. Um die Flexibilität zu erleichtern, ist der Prober über einen integrierten Adapter sowohl mit AWG 2- als auch mit AWG 3-Sonden kompatibel. Der Prober bietet auch einen hochgenauen Scankopf, um sicherzustellen, dass die Musterplatzierung exakt ist. Der Kopf hat X-, Y- und Z-Achsen mit automatisierter Chipposition und einer Auflösung von fünf Nanometern. Die optische Rückkopplungseinheit macht die Positionierung schneller und präziser als bisher. Das AP 150 verfügt auch über eine optionale Mediengestellmaschine, die eine Vielzahl von Probenmedien wie Substrate und Masken ermöglicht. Dieses Gestellwerkzeug ist mit einer Vakuumanlage ausgestattet, um die Stabilität der Proben während der Prüfung sicherzustellen. Für mehr Flexibilität verfügt der Prober über eine Reihe von Optionen zur Sicht- und Bewegungssteuerung, einschließlich FORTH-Programmierung, 12-Bit-Kameraunterstützung und einem 14-Bit-Digital-Encoder. Insgesamt ist DEKTAK AP 150 ein fortschrittlicher Scanprober, der eine hervorragende Leistung für die Fehleranalyse, Dünnschichtmesstechnik und Oberflächencharakterisierung bietet. Der Prober verfügt über Fünf-Mikron-Genauigkeit, verbesserten Z-Achsen-Weg und geräuscharmes Design für verbesserte Empfindlichkeit. Es ist mit einer Reihe von Visions- und Bewegungssteuerungsoptionen entworfen, um mehr Flexibilität und ein Mediengestellmodell für eine Vielzahl von Beispielmedien zu ermöglichen.
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