Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1051 #9134662 zu verkaufen

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ID: 9134662
Sputtering system AR HE N2 DA 2000 vintage.
CANON/ANELVA ILC 1051 ist eine Sputteranlage für die physikalische Dampfabscheidung (PVD), die entwickelt wurde, um hochwertige dünne Filme mit präziser Kontrolle abzuscheiden. Das System ist mit zwei Kathoden ausgestattet, die in einer der vier unterstützten Konfigurationen eingerichtet werden können: DC, AC, RF und DCMS. Dies ermöglicht einen flexiblen Betrieb, der ein schnelles Materialradfahren und höhere Prozessraten ermöglicht. Das Gerät kann entweder im automatisierten Modus mit seiner fortschrittlichen Betriebsmaschine oder innerhalb einer gesteuerten Rückführschleife mit einer Vielzahl von benutzerdefinierten Parametern betrieben werden. Die gasphasige Vakuumumgebung des Werkzeugs bietet die effizienteste und wiederholbare Sputterabscheidung. Die Anlage wird von einer 10 kW Magnetron-Sputterquelle mit abgeschirmtem Magneten und kontrollierter Feldteilung angetrieben. Die Stromversorgung ist mit einer Impulsspannung bis maximal 3 kV ausgestattet und gewährleistet eine präzise und hocheffektive Verarbeitung. Der modulare Aufbau des Modells mit separaten Kammern für jeden Prozess sorgt für maximale Prozessflexibilität. Der hochpräzise und einstellbare Gasverteiler sorgt für eine gleichmäßige Verteilung der Gase über den Wafer und der hochpräzise Substrathalter hilft bei der Optimierung der Plasmastabilität. Das Gerät ist auch mit einem fortschrittlichen In-situ-Diagnosesystem ausgestattet, das sofortiges Feedback liefert und bei der Optimierung der Prozesssteuerung hilft. Die Prozesssensoren innerhalb der Einheit ermöglichen eine schnelle und genaue Einstellung von Gasdruck, Temperatur, Strom und Spannung. Dadurch wird sichergestellt, dass der Benutzer immer die besten Ergebnisse erzielen kann. Die Maschine ist auch mit Mehrpunktmesseinrichtungen zur Messung des zerstäubten Materials ausgestattet. Dadurch wird sichergestellt, daß die gewünschte Dicke und Homogenität des Dünnfilms erreicht wird. CANON ILC 1051 verfügt über ein benutzerfreundliches Steuerungstool, mit dem der Benutzer Echtzeit-Anpassungen und die Überwachung des Prozesses durchführen kann. Es bietet auch eine integrierte Datenprotokollierungsfunktion, die die Speicherung und den Abruf von Prozessergebnissen erleichtert. Darüber hinaus ist die Anlage einfach zu pflegen und bietet bei Bedarf Unterstützung vor Ort. ANELVA ILC-1051 Sputtermodell ist ein fortschrittliches PVD-Abscheidungsgerät, das eine präzise, wiederholbare und effiziente Sputterabscheidung für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. Das Design, die erweiterten Funktionen und die Spitzenleistung machen es zu einer zuverlässigen und kostengünstigen Lösung für alle Ihre Anforderungen an die Dünnschichtabscheidung.
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