Gebraucht ULVAC DAL-10S #9110366 zu verkaufen
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ULVAC DAL-10S ist eine trocken-mechanische Pumpe mit einer sehr hohen Festigkeit und Leistung. Diese Pumpe wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Anforderungen von Plasmaprozessen wie RIE (Reactive Ion Etching), CVD (Chemical Vapor Deposition), MBE (Molecular Beam Epitaxy) und anderen Ätzanwendungen zu erfüllen. DAL-10S ist eine trockenmechanische Radialpumpe, die eine zweistufige Kompression aus Lagerschmierung und Kolben-/Kolbenmechanismus aufweist. Es verwendet einen zylindrischen Rotor einer speziellen Konstruktion, die einen effizienten Betrieb auch bei Enddruck ermöglicht. Dieser Rotor besteht aus hochbeständigem Edelstahl und ist direkt mit der Antriebswelle verbunden und sorgt für einen vibrationsarmen Betrieb. Das zweistufige Verdichtungsverfahren verwendet einen Kolben im Innenzylinder und ein Ventil im Außenzylinder. Der Kolben und das Ventil erzeugen einen Unterdruck im inneren Zylinder, der direkt in die Prozesskammer übertragen wird. Der innere Zylinder weist eine Anzahl von gekrümmten Flügeln entlang seines Durchmessers auf, um eine gleichmäßige Strömung von gepumptem Gas über seine gesamte Länge zu gewährleisten. ULVAC DAL-10S Pumpe ist für hohe Durchflussmengen mit einer maximalen Nennpumpgeschwindigkeit (NPS) von 25 m3/h (900 l/min) ausgelegt. Für Inline-Filtration und Partikelabscheidung sorgt ein durchdachtes Edelstahlsieb, das Partikel und Staub bis zu 0,3 μ m entfernen kann. Die Pumpe ist in einem allgeschweißten Edelstahlgehäuse eingeschlossen und mit einer Ölstandsanzeige, einer Ölablassöffnung und einem Ablassventil versehen. Es kann bei Temperaturen von 0 ° C bis 45 ° C arbeiten und der Geräuschpegel ist niedriger als 65 dBA. Zur Bequemlichkeit ist DAL-10S mit einem Sichtdruckmessgerät und einer Druckanzeige versehen. ULVAC DAL-10S ist eine zuverlässige und langlebige trockenmechanische Pumpe, die sich ideal für viele Plasmaprozesse eignet. Seine schwingungsarme, wartungsarme Konstruktion sorgt für einen störungsfreien Betrieb und maximale Effizienz. Mit seiner hervorragenden Durchflussmenge und Filtrationsfähigkeit ist diese Pumpe eine ausgezeichnete Wahl für jeden Prozess, der ein hochwertiges Vakuum erfordert.
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