Gebraucht ULVAC LR90 #9287394 zu verkaufen

ULVAC LR90
Hersteller
ULVAC
Modell
LR90
ID: 9287394
Dry pump.
ULVAC LR90 ist eine mechanische Vakuumpumpe für ultimative Vakuumanwendungen und kann Vakuumniveaus bis zu 0,005 Torr (5 x 10-4 mbarA) erreichen. Es verfügt über einen Direktantriebsmotor, Zwangsschmierung von internen Komponenten und optimale Abdichtungsmaßnahmen, um die Ammoniak-Leckrate zu minimieren. Das hohe ultimative Vakuum, kombiniert mit fortschrittlichen Ölrückgewinnungssystemen und Kontaminationsmanagement, machen es ideal für die Halbleiterverarbeitung. LR90 umfasst einen energieeffizienten, ultraquietten Direktantriebsmotor für den Langzeit- und Dauerbetrieb. Es verfügt auch über eine fortschrittliche Öl-Rückgewinnung Ausrüstung, die Effizienz durch die Rückgewinnung von Öl aus der Vakuumkammer erhöht und es für die kontinuierliche Schmierung der Pumpe zu gewährleisten. Das fortschrittliche Schadstoffmanagementsystem verfügt über einen zweistufigen Ölabscheider, um die Betriebskosten zu senken. ULVAC LR90 verfügt über eine optimale Dichtungsmaßnahme, um die Leckrate des Ammoniaks zu minimieren. Dazu gehören doppeltwirkende O-Ring-Dichtungen, um bei sauberem Stickstoff und/oder Sauerstoff einen Dichtungsfaktor von 500 zu erreichen. Eine spezielle Lüftungseinheit reduziert die Ammoniak-Leckrate auf 1,0 x 10-8 mbarA und reduziert damit die Restgasverunreinigung. LR90 ist für einfache Wartung und Austausch konzipiert. Die Pumpe kann ohne Demontage eingesetzt werden, und ihre robuste Konstruktion ermöglicht bis zu 50.000 Stunden Dauerbetrieb. Es hat auch eine breite Palette von Betriebstemperaturen, so dass für den Einsatz in einer Vielzahl von Umgebungen. Darüber hinaus verfügt ULVAC LR90 über eine integrierte Überwachungsmaschine, die Echtzeitinformationen über die Leistung der Pumpe liefert. Es enthält auch eine Schutzfunktion, die die Pumpe im Falle eines anormalen Betriebs abschaltet. Die eingebauten Temperatur- und Differenzdruckindikatoren warnen den Bediener vor Problemen. LR90 ist eine fortschrittliche mechanische Vakuumpumpe, die für ultimative Vakuumanwendungen entwickelt wurde. Es verfügt über einen energieeffizienten Direktantriebsmotor, fortschrittliche Ölrückgewinnungssysteme und eine optimierte Dichtungsmaßnahme, um die Ammoniak-Leckrate zu minimieren. Das integrierte Überwachungswerkzeug und die Schutzfunktion bieten Echtzeitinformationen und warnen den Betreiber vor Problemen. Mit seiner robusten Konstruktion, dem Langzeitbetrieb und der großen Bandbreite an Betriebstemperaturen ist ULVAC LR90 eine ideale Wahl für die Halbleiterverarbeitung.
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