Gebraucht ACCRETECH / TSK ARTS-HS #9244273 zu verkaufen
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ID: 9244273
Weinlese: 2011
Rapid thermal system
Chiller unit for UF 2000 Tri-temp
2011 vintage.
ACCRETECH/TSK ARTS-HS ist ein schneller thermischer Prozessor, der als ideale Plattform für die Entwicklung von Power-Halbleiterbauelementen, einschließlich Power-Modulen und Treiber-ICs, dient. Der Prozessor verwendet schnelle thermische Verarbeitungs- und Energieanwendungstechnologien, um in nur 15 Minuten Hochgeschwindigkeits- und genaue thermische Verarbeitungsergebnisse zu erzielen. Es hat einen hohen Durchsatz, mit 10-15 Wafern in 15 Minuten verarbeitet, und kann eine Vielzahl von Probengrößen behandeln. Der Prozessor verwendet eine Heizplattenausrüstung, die auf einem schweren Stahl- oder Aluminiumrahmen montiert ist, um eine effektive thermische Umgebung für eine schnelle thermische Verarbeitung zu schaffen. Das Heizplattensystem schließt eine hohe Temperatur, keramisches Hochleistungsheizungselement ein, das hilft, die Oblate schnell und einheitlich zu heizen. Die Heizplatte hat eine Reihe von Temperatursensoren eingebettet, um eine zuverlässige und genaue Temperaturregelung zu gewährleisten. Die Temperatur der Heizplatte wird auch mit einem PID-Temperaturregler auf Basis der Rückkopplung der Sensoren gesteuert. TSK ARTS-HS kann mit einer Vielzahl von Gasfördersystemen verwendet werden, um eine schnelle, kontrollierte thermische Verarbeitung zu ermöglichen. Dazu gehören Träger-, Spül- und Reaktivgase, die zwischen der Heizplatte und der Probenscheibe zugeführt werden. Der Prozessor kann auch mit externen Gaszufuhrsystemen für Anwendungen wie Oxidation und Nitridierung eingesetzt werden. Der Prozessor ist mit einem automatisierten Roboterarm ausgestattet, mit dem die Heizplatte von und zu dem Probenwafer bewegt werden kann und der Probenwafer zu einem integrierten Lader zur Lagerung bewegt wird. Der Roboterarm verfügt über eine Vision-Einheit, die verwendet werden kann, um den Fortschritt der thermischen Verarbeitung zu überwachen und gewährleistet, dass Wafer genau auf die Heizplatte ausgerichtet sind. In den Roboterarm sind eine Reihe von Sicherheitsverriegelungen eingebaut, die einen Betrieb des Prozessors verhindern, falls die Heizplatte von der Probenscheibe wegbewegt wird. Darüber hinaus verfügt ACCRETECH ARTS-HS über eine benutzerfreundliche Softwareschnittstelle, die eine einfache Steuerung und Überwachung des Prozessorbetriebs ermöglicht. Die Schnittstelle kann von einem PC, Tablet oder Smartphone aus aufgerufen werden und verfügt über eine Reihe von Parametern, die angepasst werden können, um gewünschte Ergebnisse zu erzielen. Insgesamt ist ARTS-HS ein fortschrittlicher schneller thermischer Prozessor, der eine hohe Genauigkeit für die thermische Verarbeitung von Power-Halbleiterbauelementen bietet. Die Heizplattenmaschine, die Gaslieferfunktionen, der Roboterarm und die benutzerfreundliche Softwareschnittstelle bieten eine hervorragende Leistung, die Zeit spart und die Produktivität steigert.
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