Gebraucht AG ASSOCIATES 410 C23 #199775 zu verkaufen

AG ASSOCIATES 410 C23 ist ein schneller thermischer Prozessor, der eine zuverlässige und wiederholbare Substratheizung bei Temperaturen zwischen 20 und 1500 Celsius mit Millisekunden/Sekundenauflösung ermöglicht. Dieser Prozessor wurde entwickelt, um eine breite Palette von industriellen Prozessen zu bedienen, wie in der Halbleiterverarbeitung, MEMs Herstellung und photonische Forschung verwendet. Dieser schnelle thermische Prozessor bietet durch den Einsatz eines Horizontal- oder Vertikalförderers mit integriertem Temperaturprofilregler Probengleichmäßigkeit, gleichmäßige Temperaturverteilung und wiederholbare thermische Prozesse. Dadurch kann der Prozess für konventionelle Single Wafer Processing (RSW) oder Multiple Wafer für Multi-Wafer Konfigurationen (MSW) eingestellt werden. Der Wafer kann mit minimaler Unterbrechung oder Stillstandszeit be- und entladen werden, wodurch er für Fertigungsanwendungen mit Kalibrierungsverbesserungen und erhöhter Durchsatzkapazität geeignet ist. 410 C23 verfügt über elf unabhängige thermische Zonen sowie fünf optionale Scheinzonen und bietet sowohl direkte Heizung und Kühlung als auch endotherme und exotherme Funktionen. Es hat eine skalierbare Kammerkonstruktion, die Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm/8 "aufnehmen kann. Der Temperaturprofilregler ermöglicht es auch, spezifische Formertemperaturen über jede Zone einzustellen, um präzise und genaue thermische Zyklen zu gewährleisten. Es hat eine effektive Heizleistung von 6 bis 8 KW und eine Kühlleistung von bis zu 1,3 KW. Dieses kombiniert mit seinen direkten Heiz- und Kühlfunktionen sorgen für sehr schnelle thermische Zykluszeiten. Eine echte einstufige thermische Prozeß- und Temperaturdekorrelationsfunktion reduziert die thermische Zykluszeit im Vergleich zu herkömmlichen Schnellwärmeprozessoren schnell um 70%. AG ASSOCIATES 410 C23 verfügt zudem über ein Schutzpaket, das eine Sauerstoff- und Stickstoffgas-Systemoption bietet. Dies hilft bei der Erzeugung einer Sauerstoff/Stickstoff-Atmosphäre innerhalb der Kammer durch Arbeiten zur Verringerung der Luftverschmutzung. Zu den weiteren Funktionen von 410 C23 gehören ein automatisiertes Außendienstprogramm zur schnellen Diagnose, ein verbesserter Systemzugriff und eine vom Benutzer einstellbare Sicherheitsgrenzwerteinstellung für die Prozesssteuerung. Dieser Wärmeprozessor verfügt auch über Echtzeit-Alarme, integrierte Datenübertragung/-speicherung, ein spezielles Kühlgebläse, das Verunreinigungen in der Prozesskammer beseitigt, zusammen mit Spiegelmonitorkammern und einem automatischen Wafer-Flussdiagrammaufzeichnungsgerät. Insgesamt ist AG ASSOCIATES 410 C23 Rapid Thermal Processor ein unglaublich vielseitiger und effizienter Prozessor mit zahlreichen Funktionen und somit eine ideale Wahl für jeden industriellen Produktionsprozess.