Gebraucht AG ASSOCIATES 410 #9140495 zu verkaufen

AG ASSOCIATES 410 ist ein Rapid Thermal Processor (RTP) zur thermischen Verarbeitung unterschiedlichster Substrate wie SiO2, Si3N4, Polymere, Metalle usw. Das Gerät ist in der Lage, die folgenden Prozesse in einem einzigen Zyklus durchzuführen: thermisches Glühen, Oxidation und Oxidationsglühen. 410 ist ein zuverlässiges und wiederholbares System, das auf die Anforderungen von Halbleiterbauelement und MEMS-Verarbeitung ausgelegt ist. AG ASSOCIATES 410 ist eine chargenartige Einheit, die aus einer Prozesskammer, einer Steuerung und einer Heizplattenmaschine besteht, die vier Substrate gleichzeitig unterstützt. Es hat eine zylindrische Quarz-Prozesskammer mit zwei Aluminiumlegierungsplatten, um eine gleichmäßige Temperatur über das Substrat bereitzustellen. Das Werkzeug hat eine maximale Betriebstemperatur von 800 ° C und ist in der Lage, die Temperatur in nur 30 Sekunden mit einer Gleichmäßigkeit von ± 2 ° C über dem Substrat zu rampen. Zusätzlich ist die Anlage mit einer Zwangsgaszirkulation ausgestattet, die eine gleichmäßige Temperaturregelung über mehrere Substrate ermöglicht. 410 ist ein fortschrittliches Modell, das eine breite Palette von Funktionen bietet, einschließlich fortschrittlicher Temperaturmessung und -steuerung, automatischer Waferausrichtung, Lastsperrenbetrieb und Ferndiagnose. Darüber hinaus verfügt das Gerät über einen Druckbereich von 10Torr bis 1000Torr und ist kompatibel mit einer Vielzahl von Kammeratmosphären, darunter N2, H2, Ar und O2. Neben den oben genannten Merkmalen bietet AG ASSOCIATES 410 auch eine einfache und intuitive Benutzeroberfläche, die eine einfache Bedienung und einstellbare Parameter ermöglicht. Darüber hinaus bietet das System verschiedene analytische und diagnostische Funktionen, einschließlich O2-Plasmaätzen und Oxidationsanalysen. Zusätzlich gibt es eine optionale MFC-Schnittstelle, die eine einfache Integration mit einer Vielzahl von Analyseinstrumenten ermöglicht. Insgesamt ist 410 eine vielseitige und zuverlässige schnelle thermische Verarbeitungseinheit, die eine Kombination aus Präzision, Geschwindigkeit und Wiederholbarkeit bietet, die es zu einer perfekten Lösung für eine breite Palette von Halbleiterbauelementen und MEMS-Verarbeitungsanwendungen macht. Seine erweiterten Funktionen und benutzerfreundliche Oberfläche machen es einfach zu bedienen und zu warten. Daher ist es eine ideale Maschine für Hersteller oder Forschungslabore, die ein schnelles und effizientes RTP-Tool benötigen.