Gebraucht AG ASSOCIATES 4100 #9146374 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 9146374
Wafergröße: 3"-6"
Rapid thermal processors (RTP), 3"-6"
Includes:
Heating chamber: Two high intensity tungsten-halogen lamp arrays
System controller
Quartz isolation tube
Robot
Gas-control electronics
ULAP Filtration-system
Graphic user interface (GUI) computer system
Electronics
Mass-flow-controlled gas handling
Cooling
ULPA Filtration
Mechanical assemblies
Extended range pyrometer (ERP)
Recipe storage: 3-1/2" Floppy disk-drive
Options:
Non contact wafer aligner
Susceptor autoloader
E-SECS
Slip free
Dual-color pyrometer
Applications:
Silicon dielectric growth
Implant annealing
Glass re-flow
Silicide formation and annealing
Nitridation of metals
Contact alloying
Oxygen donor annihilation
Standard cassettes
Wafer handling: Automatic serial processing
Throughput: Process dependent
Ramp-up rate:
Programmable
Range: 1 – 180°C Per second
Steady-state duration: 1 – 600 Seconds per step
Ramp-down rate:
Programmable
Temperature
Radiation dependent
Range: 1 – 180°C Per second
Maximum: 150°C per second
Recommended steady-state temperature range: 400 – 1200°C
ERP Temperature accuracy: +5°C to -9°C
Calibrated against an instrumented thermocouple wafer (ITC)
Temperature repeatability: + 7°C
Temperature uniformity: + 10°C
Includes: Manuals.
AG ASSOCIATES 4100 ist ein schneller Wärmeprozessor für eine Vielzahl von Verarbeitungsanwendungen. Diese hochmoderne Ausrüstung ist für das Kühlen, Glühen und Kristallwachstum ausgelegt. Es hat einen Temperaturbereich von -50C bis + 800C, eine Probenauflage von bis zu 14 „x14“ und eine Wafer-Steigung von bis zu 2 mm. Das System umfasst eine proprietäre Rapid Thermal Transfer Unit (RTTS) mit einer einzigartigen heißen Kante und Kühlrippen, um eine hohe Temperaturgleichmäßigkeit und schnelle Probenübertragungen zu gewährleisten. Die Maschine verfügt über eine robuste Steuerung mit intuitiver Software, die eine einfache Programmierung und einen hohen Durchsatz ermöglicht. Es verfügt auch über eine Hochleistungs-Infrarotlampe, die schnelle Temperaturrampen und schnelle Zykluszeit ermöglicht. Das gesamte Werkzeug ist in einer temperatur- und feuchtigkeitsgesteuerten Kammer eingeschlossen, um wiederholbare Prozessergebnisse zu gewährleisten. Das Asset nutzt ein Heizelement aus Edelstahl und bietet dem Anwender individuelle Heizprofile. Es ist außerdem mit einem auf dem Substrathalter angebrachten thermischen Sensor zur Überwachung der Temperatur der Probe ausgestattet. Dadurch kann der Anwender das thermische Profil auf die Bedürfnisse seiner Anwendung abstimmen. 4100 ist ein High-End-Modell für Forschung, Produktion und Industrie. Es bietet eine Vielzahl von verschiedenen Anwendungen, einschließlich Glühen und Kristallisation, Diffusion, Diffusionsbarrierenabscheidung und Verunreinigungsdoping. Es eignet sich auch für Anwendungen wie Industrieofen, Reflowöfen und schnelles thermisches Blinken. Insgesamt ist AG ASSOCIATES 4100 ein anspruchsvolles Werkzeug, das für eine Vielzahl von Bearbeitungsanforderungen entwickelt wurde. Es bietet eine vielseitige, temperaturgesteuerte Kammer und eine schnelle Thermotransferausrüstung, die eine schnelle Probenbearbeitung ermöglicht. Mit einem intuitiven Controller und anpassbaren Heizprofilen ist dieses System eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Forschungs- und Branchenbedürfnissen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor