Gebraucht AG ASSOCIATES 4100 #9147789 zu verkaufen

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AG ASSOCIATES 4100
Verkauft
ID: 9147789
Wafergröße: 6"
Rapid thermal processors (RTP), 6".
AG ASSOCIATES 4100 Rapid Thermal Processor ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug für die fortschrittliche Halbleiterherstellung. 4100 verfügt über ein fortschrittliches Design, das einen hohen Durchsatz und die Fähigkeit bietet, große Wafer im Batch-Modus schnell zu verarbeiten. Das Gerät unterstützt mehrere Prozesse wie Oxidation, Glühen, Dotierung, Nitridabscheidung und schnelle thermische Verarbeitung. Das Gerät ist mit einem Gasspülsystem und einer Vielzahl von Temperaturüberwachungssensoren zur genauen Prozesssteuerung ausgestattet. AG ASSOCIATES 4100 verfügt über einen integrierten mikroprozessorbasierten Controller mit verschiedenen programmierbaren Temperaturprofilen. Dieser Prozessor ermöglicht kundenspezifische Temperaturprofile für jeden Wafer, was die Zuverlässigkeit durch die Gewährleistung einheitlicher Prozesszeiten und Temperaturen verbessert. Der Benutzer kann auch einstellbare Funktionen wie programmieren. als Temperaturrampenraten, Zonenregelung und Toleranzen. Die Einheit ist außerdem mit einer Drehkammer zur gleichzeitigen Aufnahme von vier Wafern ausgestattet. Die Kammer wird gedreht und zwischen mehreren Heiz- und Kühlbereichen verschoben, wodurch für jeden Wafer eine einheitliche Temperaturregelung gegeben ist. Dies sorgt für gleichmäßige Heiz- und Kühlraten, wodurch der Waferdurchsatz steigt. Es steht eine automatische Gasspülfunktion zur Verfügung, um mögliche Verschmutzungen bei der Handhabung der Wafer zu reduzieren. Die Spülgase werden in externen Tanks gespeichert und mit Gasdurchflussmessern überwacht. 4100 verfügt über ein keramisches Kerndesign, das eine effiziente Wärmeableitung während der schnellen thermischen Verarbeitung ermöglicht. Das Gerät enthält auch einen Wasserkühler, um die Temperatur des Mantels schnell in Abhängigkeit von der gewünschten Kühlrate zu senken. Dadurch wird eine gleichmäßige Abkühlung der Wafer gewährleistet und die Temperaturen im Betrieb auf +/- 5 Grad C gehalten. AG ASSOCIATES 4100 ist mit einem fortschrittlichen Monitor- und Kontrollsystem ausgestattet, das eine einfache Überwachung und präzise Kontrolle der Temperatur ermöglicht. Eine Vielzahl von Alarmen sind enthalten, um Benutzer auf mögliche Probleme aufmerksam zu machen und einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Mit seinen vielseitigen Konstruktionsmöglichkeiten ist 4100 ein effektives und zuverlässiges Werkzeug für die Halbleiterherstellung.
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