Gebraucht AG ASSOCIATES AW-810M #9013662 zu verkaufen

AG ASSOCIATES AW-810M
ID: 9013662
Rapid thermal annealer Currently installed.
AG ASSOCIATES AW-810M ist ein Rapid Thermal Processor (RTP) für die Hochtemperaturverarbeitung von Halbleiterbauelementen und -materialien. Das RTP ist speziell für die Verarbeitungsanforderungen Ionenimplantation, Epitaxie, Trocken- und Nassätzung, Diffusion und Rapid Thermal Annealing, N und P + Ionenimplantation und andere damit zusammenhängende Prozesse konzipiert. AW-810M bietet eine präzise thermische Verarbeitung mit maximaler Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit. Das RTP verfügt über eine Hochdruck-, geschlossene Kreislaufheiz- und Kühlkammer, eine thermoelementgesteuerte Hubstufe und zwei Generatoren für HF- und DC-Leistung. AG ASSOCIATES AW-810M verfügt zudem über eine integrierte elektrische Steuerung und eine fortschrittliche Benutzeroberfläche, die eine präzise Temperaturregelung mit einer maximalen Gleichmäßigkeit von 1,5% über die gesamte Kammer ermöglichen. AW-810M nutzt einen Quarzrohr-Thermobereich, der Verarbeitungstemperaturen bis 1150 ° C ermöglicht. Die Heizung hat eine maximale Ausgangsleistung von 4.5kw und kann Rampentemperaturen bis 800 ° C in einer Millisekunde erreichen. Um gleichmäßige Temperaturen zu gewährleisten, nutzt AG ASSOCIATES AW-810M ein thermoelektrisches Kühlsystem, das ein effizientes und schnelles thermisches Zyklus sowie eine Kühlrate von ca. 100 ° C pro Sekunde ermöglicht. Das RTP ist zudem mit einer thermoelementgesteuerten Hubstufe ausgestattet, die eine präzise Temperaturregelung während Prozesszyklen ermöglicht. Darüber hinaus verfügt AW-810M über zwei Stromgeneratoren für HF- und DC-Leistung sowie ein flüssiges Stickstoffsystem für überlegene Temperaturgleichmäßigkeit bei niedrigem Druck. AG ASSOCIATES AW-810M ist für den Einsatz in einer Vielzahl von Forschungs- und Entwicklungsumgebungen konzipiert, darunter Universitäten, Forschungsinstitute und Industrielabore. Das RTP eignet sich hervorragend für die Verarbeitung von Halbleitern und ermöglicht die Verarbeitung zu dramatisch reduzierten Zeiten im Vergleich zu herkömmlichen Methoden. AW-810M ist einfach zu bedienen, bietet gleichmäßige Temperaturen und eine präzise Steuerung der Prozessvariablen. Die mitgelieferte Benutzeroberfläche macht die Bedienung und Wartung des RTP einfach und effizient, so dass Anwender in kurzer Zeit einheitliche Verarbeitungsergebnisse erzielen können.
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