Gebraucht AG ASSOCIATES Heatpulse 210 #170134 zu verkaufen
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ID: 170134
Wafergröße: Up to 4"
Rapid Thermal Processor Annealing System, up to 4"
Specifications:
Single wafer annealing with precision temperature control
Accommodates wafer sizes up to 4"
Operating temperature range of 400° to 1200°C
200/208 VAC, 50/60 Hz, 100 Amp
Controller not included.
AG ASSOCIATES Heatpulse 210 ist ein vielseitiger Schnellwärmeprozessor (RTP). Es wurde entwickelt, um eine genaue, zuverlässige und wiederholbare Temperaturregelung für verschiedene Substrate (einschließlich Glas, Galliumarsenid und Silizium) zu ermöglichen. Es hat einen breiten Temperaturbereich (von 15 ° bis 1200 ° C) und kann große Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm handhaben. Heatpulse 210 wird durch eine Bipolar AC Versorgung angetrieben und beinhaltet eine führende beheizte Stufe. Es verfügt über ein effizientes Wärmeübertragungssystem, präzise Feedback-Controller und eine hochmoderne Touch-Control-Schnittstelle. Darüber hinaus ermöglicht eine einzigartige Führungsbahn eine einfache Beladung, längere und stabilere Prozesszyklen und zuverlässige Rüstwiederholbarkeit. AG ASSOCIATES Heatpulse 210 verfügt über eine einfache und dennoch effiziente digitale Verarbeitungsschnittstelle mit erweiterten Prozesssteuerungsfunktionen. Damit kann die Temperatur der Substrate gesteuert und überwacht werden. Es verfügt über eine Drei-Zonen-Architektur für überlegenen Geräteschutz und präzise Temperaturgleichförmigkeit. Anwender können mit den hochauflösenden Schrittreglern die Heiz-/Kühlraten entsprechend den Prozessanforderungen anpassen oder eine benutzerdefinierte Rezeptur anwenden, um die Temperaturrampen- und Kühlrate zu steuern. Heatpulse 210 kommt mit einem umfassenden Satz von Sicherheitsfunktionen. Mit Hilfe eines Übertemperatur-Bildgebers wird während des Prozesses eine unerwünschte Erwärmung des Substrats detektiert. Darüber hinaus erfüllt oder übertrifft seine partikelfreie Umgebung alle Reinheitsanforderungen der anspruchsvollsten Industrien. AG ASSOCIATES Heatpulse 210 ist ein zuverlässiger, einfach zu bedienender schneller thermischer Prozessor, der eine präzise Temperaturregelung und Langzeitwiederholbarkeit bietet. Seine fortschrittliche Steuerung, überlegene Temperaturgleichmäßigkeit und Sicherheitsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von thermischen Verarbeitungsanwendungen.
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