Gebraucht AG ASSOCIATES Heatpulse 410 #9148956 zu verkaufen

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ID: 9148956
Wafergröße: 2"-4"
Rapid thermal processor, 2"-4" Quartz process chamber (21) Tungsten halogen lamps Closed-loop temperature control Fast heating and cooling rates Temperature range: 400-1250° C Steady-state temperature stability: ± 2° C Temperature monitoring mechanisms: Extended range pyrometer (ERP) Heating rate: 1-200° C/sec Cooling rate: max 150° C/sec Maximum non-uniformity: ±5°C across a 6″ wafer at 1150°C Implant: 1E16 50 KeV Implant uniformity ≤0.3% Steady state time: 1-9999 sec Process gases: Optional MFC, Up to 4.
AG ASSOCIATES Heatpulse 410 Rapid Thermal Processor ist eine hochmoderne Maschine zur Herstellung von integrierten Schaltungen und anderen Geräten. Heatpulse 410 wurde entwickelt, um ein schnelles und zuverlässiges Thermocycling von Halbleitersubstraten in einer streng kontrollierten und wiederholbaren Umgebung zu ermöglichen. Das Herzstück von AG ASSOCIATES Heatpulse 410 ist ein hochentwickelter korrosionsbeständiger, Hochgeschwindigkeits-Mikroprozessor, der für genaue und schnelle thermische Zyklen entwickelt wurde. Dieser Prozessor sorgt für minimale thermische Gradienten über den Wafer, auch beim Rampen nach oben oder unten. Der Prozessor wurde entwickelt, um eine hohe Genauigkeit der Temperaturregelung und eine hervorragende Zykluswiederholbarkeit zu erreichen. Heatpulse 410 enthält einen erweiterten HF-Schutz, um thermische Belastungen durch Signalstörungen zu minimieren. Es verfügt auch über fortschrittliche ultra-niedrige elektrische Geräuschpegel, um potenzielle Störungen mit äußeren Signalen und Übersprechen zu minimieren. AG ASSOCIATES Heatpulse 410 beinhaltet ein integriertes Touchscreen-Bedienfeld mit speziellen Temperatur-, Puls- und Kammertemperaturregelmodulatoren. Es bietet auch eine Echtzeit-Thermoüberwachung, die dem Benutzer ein kontinuierliches Auslesen einzelner Waferparameter wie Temperatur, Druck und Pulsbreite ermöglicht. Heatpulse 410 wurde entwickelt, um sowohl die Einzel- als auch die Chargenverarbeitung zu unterstützen. Es enthält mehrere eingebettete thermische Profile, mit denen Benutzer die Maschine so konfigurieren können, dass sie verschiedene Verarbeitungstypen aufnehmen kann. Zusätzlich kann die Maschine konfiguriert werden, um unterschiedliche thermische Prozessanforderungen wie maximale Heizrate, maximale Kühlrate und maximale Einweichzeit zu erfüllen. Im Hinblick auf die Sicherheit ist AG ASSOCIATES Heatpulse 410 mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen wie Hochtemperatursensoren und einem ausfallsicheren Energiemanagement ausgestattet, um die Maschine vor Hardware- und Softwarefehlern zu schützen. Die Maschine verfügt außerdem über ein Mehrpunkt-Kühlsystem, mit dem der Wafer im Notfall gekühlt werden kann. Insgesamt ist Heatpulse 410 ein fortschrittlicher und zuverlässiger schneller thermischer Prozessor, der eine enge Temperaturregelung und ausgezeichnete Wiederholbarkeit bietet. Es verfügt über einen hochentwickelten Mikroprozessor, zuverlässigen HF-Schutz und eine Echtzeit-Wärmeüberwachung. Darüber hinaus umfasst es verschiedene Sicherheitsmerkmale wie Hochtemperatursensoren, ein ausfallsicheres Energiemanagement und ein Mehrpunktkühlsystem.
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