Gebraucht AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 #9146307 zu verkaufen
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ID: 9146307
Wafergröße: 5"-8"
Weinlese: 1993
Rapid thermal processor annealing system, 5"-8"
Electronics
Mass-flow-controlled gas handling
Cooling
ULPA Filtration
Mechanical assemblies
Applications:
Silicon dielectric growth
Implant annealing
Glass re-flow
Silicide formation and annealing
Nitridation of metals
Contact alloying
Oxygen donor annihilation
Wafer handling: Automatic serial processing
Standard cassettes
Throughput: Process dependent
Ramp-up rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Steady-state duration: 1 – 600 Seconds per step
Ramp-down rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Ramp down rate is temperature
Radiation dependent
Maximum 150°C per second
Recommended steady-state temperature range: 400 – 1200°C
ERP Temperature accuracy:
+3°C to -7°C
Calibrated against an instrumented thermocouple wafer (ITC)
Temperature repeatability: + 3°C
Temperature uniformity: + 5°C
1993 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 ist ein schneller fortgeschrittener für strenge Prozessanwendungen entworfener Hochleistungsthermalverarbeiter. Mit einer fortschrittlichen, automatischen und genauen Temperaturregelung bietet Heatpulse 4108 maximale Prozesskontrolle und Flexibilität. AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 verwendet ein leistungsstarkes, quarzbeschichtetes Siliciumcarbid-Ausgangsmaterial, das eine zuverlässige und präzise Temperaturregelung ermöglicht. Es hat eine schnelle Rampenrate von 1000 Grad Celsius pro Sekunde. Mit seinem fortschrittlichen Temperaturregler kann Heatpulse 4108 seine Temperatur schnell und genau anpassen und bietet Benutzern extreme Präzision und Reproduzierbarkeit. Darüber hinaus bietet AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 eine überlegene thermische Gleichmäßigkeit. Die mehrzonigen, quarzbeschichteten Siliziumcarbid-Heizelemente sorgen für eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf dem gesamten Wafer. Es bietet auch verbesserte thermische Zyklus für bessere Ausbeute und Prozessstabilität. Einer der Vorteile von Heatpulse 4108 System ist seine modulare, flexible Bauweise. Es kann entweder in einem einmaligen oder in einem mehrmaligen Pulsmodus betrieben werden. Darüber hinaus bietet AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 einfach zu konfigurierende Parameter, so dass Benutzer ihre eigenen Zyklusprofile erstellen können. Benutzer können aus einer Vielzahl von Wafergrößen auswählen und kundenspezifische Prozessrezepte installieren. Zur Sicherheit ist Heatpulse 4108 mit automatischer Sperrung, isoliertem Kern und integrierten Verriegelungsfunktionen konzipiert. Es verfügt auch über Fehlerdiagnosefunktionen mit Verriegelungsschutz. Insgesamt ist AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 ein zuverlässiger und vielseitiger schneller thermischer Prozessor. Seine präzise Temperaturregelung, verbesserte thermische Gleichmäßigkeit und anpassbare Zyklusprofile machen es ideal für raue und komplexe Prozessanwendungen.
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