Gebraucht AG ASSOCIATES Heatpulse 610 #9199960 zu verkaufen

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AG ASSOCIATES Heatpulse 610
Verkauft
ID: 9199960
Weinlese: 2013
Rapid thermal annealing system 2013 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 610 ist ein leistungsstarker schneller Thermalverarbeiter (RTP), der das schnelle Ausglühen, die Oxydation, die Verbreitung und die Rekristallisierungsverarbeitungsbedürfnisse anbietet. Die Anlagen sind für Forschung und Entwicklung, Produktion und Charakterisierung konzipiert. Zu den Hauptmerkmalen von AG ASSOCIATES HEATPULSE 610 gehören hohe Temperaturgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit, schnelle Rampenfähigkeiten und eine geringe thermische Masse in kompakter Bauweise. Heatpulse 610 ist ein Chargensystem, das aus 4 unabhängig gesteuerten Heizelementen besteht. Es ermöglicht die Bearbeitung von bis zu vier Wafern gleichzeitig. Die maximale Temperatur ist 2000oC und typische Rampenraten reichen von 300K/sec bis 5K/sec. Die hohe Temperaturgleichförmigkeit von HEATPULSE 610 resultiert aus der fortschrittlichen Temperaturdriftkompensation und der Wasserkühlung. Darüber hinaus können die Wafer durch ihre Vakuumtür leicht be- und entladen werden. AG ASSOCIATES Heatpulse 610 verfügt über eine Vielzahl fortschrittlicher Prozesssteuerungsfunktionen. Es ist mit einer 64-Bit-Bedieneinheit mit intuitiver grafischer Benutzeroberfläche ausgestattet. Auf diese Weise können Benutzer die experimentellen Bedingungen einfach einrichten und überwachen. Es hat auch Optionen für automatisierte Rezepterstellung und -ausführung sowie erweiterte Datenprotokollierung und -analyse. AG ASSOCIATES HEATPULSE 610 ist hochkonfigurierbar und in der Lage, eine Vielzahl von Glüh- und Abscheidungsprozessen durchzuführen. Die Maschine ist in der Lage, schnelle Glüh-, Oxidations-, Diffusions- und Umkristallisationsprozesse durchzuführen. Es verfügt über eine Diffusionskammer mit Gasförderwerkzeug für mehrere Gasarten und Druckparameter. Das Gut hat auch zwei Tiegelboote für Sintern und Oxidabscheidung. Insgesamt ist die AG ASSOCIATES 610 ein idealer Schnellwärmeprozessor für Forschungs- und Produktionsanforderungen durch schnelles Rampen, geringe thermische Masse, hohe Temperaturgleichmäßigkeit und konfigurierbare Prozessmerkmale. Seine intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, Prozesse einfach zu programmieren und zu überwachen. Es ist auch in der Lage, verschiedene Glüh-, Oxidations-, Diffusions- und Umkristallisationsverfahren. Heatpulse 610 ist ideal für den Einsatz in einer Vielzahl von Forschungs- und Entwicklungsstudien, Produktions- und Charakterisierungsstudien.
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