Gebraucht AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 #9226004 zu verkaufen

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ID: 9226004
Wafergröße: 4"-6"
Weinlese: 1996
Rapid Thermal Processor (RTP), 4"-6" Main body Side panel Pyrometer chiller Rear monitor cart Quartz rack (Tray) Wafer transfer operation, 6" Robot and controller AC And DC power STDBUS Control box Pyrometer measurement temperature control system Pyrometer and special water cooler Control appliances and cables Temperature calibration sheet Temperature calibration tool pyrometer and omega 6-Gas channels with 5 MFCs Cooling station 1996 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 ist ein hochauflösender Schnellwärmeprozessor für die Forschung und Herstellung von Halbleiterscheiben. Dieser Prozessor ist in der Lage, eine präzise thermische Charakterisierung und Kontrolle über den gesamten Bereich der Wafertemperaturen von kryogenen Temperaturen bis über 1.400 Grad Celsius aufrechtzuerhalten. Es ist ideal für die Handhabung von Wafern mit Dünnschicht- und Mehrschichtprozessen sowie für die Herstellung und Prüfung von Geräten. AG ASSOCIATES HEAT PULSE 8108 verfügt über einen fortschrittlichen, hochauflösenden Schnellwärmeprozessor mit schnellem thermischem Profilieren, der schnell alle Operationen im Zusammenhang mit Wärmeverteilung, Entgasung und Ionenimplantationen durchführt. Mit seinen schnellen Rampengeschwindigkeiten und der Low-Power-Heizelementtechnik kann die Wafer-Fertigung innerhalb weniger Minuten erreicht werden. Das thermische System ist ferner mit einem integrierten, programmierbaren Regler zur unabhängigen, genauen Regelung von Temperatur, Druck, Zeit und anderen Bedingungen zur Durchführung verschiedener Prozesse konfiguriert. Darüber hinaus kann dieser Prozessor eine Vielzahl von Messungen durchführen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf Temperatur und Strom, Spannung, Zeit und Druck. Dieser Betriebsmodus ermöglicht es Benutzern, eine Folge von Operationen autonom durchzuführen und die Bedingungen des Prozesses in Echtzeit zu überwachen. Darüber hinaus ist dieser Prozessor mit einem optionalen erweiterten, proprietären PID-Steuerungsalgorithmus für erhöhte Kontrollgenauigkeit konzipiert. Der Prozessor ist zudem mit zahlreichen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie einer automatischen Abschaltfunktion, automatischer Druckregelung, Übertemperaturschutz und H 2 O-Schutz. Die Sicherheitsmerkmale sorgen für optimale Sicherheit und verlängern die Langlebigkeit des Systems. Dieser Prozessor umfasst auch einen integrierten Vakuumanschluss, einen erhöhten Port und mehrere E/A-Ports, um den Anschluss an externe Systeme, Sensoren und andere Hardware für den Anschluss an einen PC mit Echtzeit-Überwachung und -Steuerung zu ermöglichen. HEATPULSE 8108 ist ein umfassender Schnellwärmeprozessor, der für die Forschung und Herstellung von Halbleiterscheiben maßgeschneidert ist. Sein fortschrittliches Design und seine Eigenschaften machen es zur idealen Wahl für Dünnschicht- und Mehrschichtfabrikationen. Mit seiner überlegenen schnellen thermischen Profilierung, der Low-Power-Heizelementtechnologie, fortschrittlichen PID-Steueralgorithmen und integrierten Sicherheitssystemen ist Heatpulse 8108 die perfekte Lösung für die Maximierung von Effizienz und Produktivität in Halbleiterwaferherstellungsprozessen.
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