Gebraucht AG ASSOCIATES Heatpulse 8800 #9235031 zu verkaufen

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ID: 9235031
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Rapid Thermal Processor (RTP) system, 8" Gases: N2, O2, L-O2, NH3 Power supply: 208 V, 3 Phase 2000 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 8800 ist ein schneller thermischer Prozessor für Forschung und Entwicklung in der Halbleiterindustrie. Es wurde für schnelle thermische Glühung, schnelle thermische Oxidation und schnelle thermische Nitridierungsprozesse entwickelt. All diese Verfahren werden bei der Herstellung von Halbleitern eingesetzt. AG ASSOCIATES HEATPULSE 8800 ist ein robustes Instrument, das mit einer ölfreien Pumpe und Quarz-Infrarot-Heizlampe konfiguriert ist. Es zeichnet sich durch hohe Temperaturgleichmäßigkeit in der gesamten Prozesskammer für hohe Wiederholgenauigkeit und verbesserte Prozesswiederholbarkeit aus. Er kann Temperaturen bis 1000 ° C erreichen und Wafer bis 150 mm Durchmesser glühen. Es verfügt auch über eine zweischichtige Vakuumausrüstung, die 10 mTorr erreichen kann. Heatpulse 8800 verfügt über ein speziell entwickeltes Kühlsystem, das eine schnelle Abkühlung ermöglicht. Es sorgt für eine selbstanpassende Einheit, die das Wärmepulsmuster genau einstellen kann und entsprechend die idealen Prozessparameter erreicht. Das Instrument enthält auch eine Mehrzonen-Heizmaschine zur präzisen Steuerung mehrerer thermischer Zonen in der Prozesskammer. Es kann bis zu fünf Heizzonen bewältigen, was zu einem gleichmäßigen Glühen in der gesamten Prozesskammer führt. Sein benutzerfreundliches Design verfügt über eine einfach zu bedienende grafische Oberfläche, um eine intuitive Steuerung zu ermöglichen. Die Software ist in der Lage, detaillierte grafische Darstellungen von Parametern wie Temperatur, Prozesskammerdruck, Zeit und Verweilzeiten bereitzustellen. Es enthält auch Prozeßverfolgungsparameter wie die gesamte thermische Zeit und die Anzahl der Zyklen. HEATPULSE 8800 ermöglicht eine einfache Wartung und ist weltweit mit Service und Support verfügbar. Es ist ein schneller, zuverlässiger und genauer thermischer Prozessor, der für den Halbleiterforschungs- und Entwicklungsprozess entscheidend ist.
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