Gebraucht AG ASSOCIATES RTP-2106 #9045424 zu verkaufen
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ID: 9045424
Wafergröße: 3"-6"
Rapid thermal processor, 3"-6"
Applications:
Implant activation
Silicide formation
Oxide reflow (PSG & BPSG)
Alloying
Cassette to cassette
Microprocessor controlled
Wafers per hour throughput: 60-100
Depending on anneal cycle
Temperature range: 400-1250ºC
Anneal time: 1-300 Seconds
Electrical requirements:
208-240V, 3 Ohm
60A Maximum
Water requirements: 2 GPM at 60-75 PSG.
AG ASSOCIATES RTP-2106 Rapid Thermal Processor (RTP) ist ein Standard Rate thermischen Prozessor entwickelt, um Materialien schnell und effizient zu verarbeiten. Es verwendet sorgfältig gesteuerte, leistungsstarke thermische Prozesse, um Materialien wie Halbleiterscheiben, Flachbildschirme und mikroelektronische Bauelemente zu behandeln. Dieses vielseitige Werkzeug kann verwendet werden, um Folien auf Substraten zu glühen, zu aktivieren, zu oxidieren, einzutreiben oder abzulegen. RTP-2106 wird mit den neuesten Steuergeräten mit fortschrittlichen algorithmenbasierten thermischen Profilierungsfunktionen sowie integrierter Datenprotokollierung geliefert. Fortschrittliche Sensoren und mehrere Kammern ermöglichen eine optimale Temperaturregelung und gleichmäßige Wärmeverteilung. AG ASSOCIATES RTP-2106 kann Temperaturen bis 1010 ° C mit einer Genauigkeitsrate von +/- 2 ° C erreichen. Diese Maschine ermöglicht auch schnelle Zykluszeiten, was zu kürzeren Belichtungszeiten, schnelleren Prozesszeiten und höheren Erträgen führt. RTP-2106 verfügt auch über integrierte Sicherheitsfunktionen wie Übertemperaturschutz, abnehmbare SS-Abschirmung, ein LED-Warnsystem mit automatischen Abschaltungen und eine Not-Aus-Taste. Das Gerät ist auch mit einer eingebauten Vakuummaschine ausgestattet, die eine ordnungsgemäße Entlüftung der erzeugten Dämpfe gewährleistet. AG ASSOCIATES RTP-2106 ist mit einem kleinen Platzbedarf konzipiert und somit ideal für den Einsatz in kleinen Labors. Das Tool ist einfach zu programmieren und zu bedienen und kann an die spezifischen Anforderungen jeder Umgebung angepasst werden. Darüber hinaus verfügt RTP-2106 über effiziente Datenanalysefunktionen, sicheren passwortgeschützten Benutzerzugriff und eine Vielzahl von Rückverfolgbarkeitstools. Insgesamt ist AG ASSOCIATES RTP-2106 ein fortschrittlicher Schnellwärmeprozessor, der zuverlässige und effiziente Leistung zu einem wettbewerbsfähigen Preis bietet. Die breite Palette an Funktionen und integrierten Sicherheitsprotokollen machen dieses Asset zu einer idealen Wahl für jedes Labor, das nach einem vielseitigen und effizienten thermischen Prozessor sucht.
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