Gebraucht ALLWIN21 AW 105R #9201878 zu verkaufen
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ID: 9201878
Wafergröße: 2"-6"
Plasma etcher, 2"-6"
Wafer loading: 3-Axis robot
Stationary cassette plate
Plasma power: 600W Air-cooled
Type: Parallel / Single wafer process
Gas lines: 1-3 Lines MFCs
Main frame with circuit breakers, solenoid valves
Keyboard, mouse, cables
Anodized reactor with door
Chamber base plate with water sensor
Upper and lower electrodes
Quartz showerhead & diffusion disk
Main control and distribution PCBs
RF Matching network with PCBs
RF Generator: 13.56MHz
Center aligner / Cassette station:
Two dimensions
Four dimensions
Base plate and ceramic ring:
Reactor
Chuck
In-line filter and solenoid isolation valve:
One MFC
Two MFCs
Three MFCs
AC/DC Box: Temperature controller
MKS Baratron: Isolation valve
Throttle valve
Main vacuum valve
Front EMO, interlocks
Touch screen GUI, 15"
Asher rate: 0.5-1.5 um/Min (200 to 250 ºC)
Bulk strip: 600 A/Min (100 ºC)
Uniformity: <±8% (Max-min)
Strip: <±5% (Max-min)
Particulate: <0.05/cm2
Selectivity: >1000:1
MTBF / MTTA / MTTR: 450 Hours / 100 Hours / 3.5 Hours / Better
Production-proven plasma asher / Descum
Uniformity: Up to 3%-5%
Frontside and backside isotropic removal
Consistent wafer-to-wafer process cycle repeatability
Element heating: Up to 250°C
Wafer capability (50mm-150mm): Up to 6.25” substrate
Thickness wafer: 50um
Options:
End-of-process (EOP)
Vacuum pump
Chiller: Chamber base plate
Applications:
GaAs, InP, GaN, SiC Wafer strip
GaAs, InP, GaN, SiC Wafer descum
Thin film head resist cleaning
Opto-electronic devices cleaning
MEMS
Photoresist stripping:
High dose implant
Rework
Post-polysilicon
Post-metal
Post-oxide
Controlled resist removal:
Post-develop descum
Uniformity capability: (<5% 1σ)
Plumbed process gases: O2, N2
Cooling water: GPM House circulating supply
Facility exhaust: 100 CFM
Power: 190-240VAC, single phase, 30A, 50/60Hz.
ALLWIN21 AW 105R Rapid Thermal Processor ist eine präzise thermische Verarbeitungsanlage, ideal für eine Vielzahl von Forschungs- und Industrieanwendungen. Die hochmoderne Ausrüstung verwendet einen robusten Graphit-Heizblock für konstante Leistung bei Temperaturen bis 1250 ° C und einen ultrapräzisen Temperaturregler für beispiellose Genauigkeit und Stabilität während des Betriebs. AW 105R wurde entwickelt, um schnelle Heiz- und Kühlzyklen mit einer durchschnittlichen Zeit von 5 Minuten zu ermöglichen. Dies ermöglicht eine effiziente und effektive Verarbeitung beliebiger Werkstoffgrößen ohne Einbußen bei der Präzision. ALLWIN21 AW 105R nutzt eine Nennleistung von 8.5kW und verfügt über ein einzigartiges verriegeltes Türsystem, um die Sicherheit während des Betriebs zu maximieren. Das Gerät verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, eine vakuumthermologische Prozesssteuerung und ein Anemometer/Feuchtigkeitsmessgerät, um eine sichere und saubere Prozessumgebung zu gewährleisten. Die Maschine ist für einfache Wartung und effizienten Betrieb ausgelegt. AW 105R Rapid Thermal Processor verfügt über ein einfaches Vakuumpumpwerkzeug und einen hochwertigen Graphitheizblock mit unabhängiger Temperaturmessung. Mit einem vollautomatisierten Bedienfeld können Benutzer mit minimalem Setup schnell einsatzbereit sein. ALLWIN21 AW 105R ist mit einer leistungsstarken motorisierten Bühne und einem breiten Sortiment an Zubehör ausgestattet, einschließlich Quarzkammern, Hebevorrichtungen und mehreren Waferhöhen. Die Anlage ist kompatibel mit einer Vielzahl von Materialsubstraten: Silizium-Wafer, Polymerfilme, Kohlenstoff-Nanoröhren-Arrays, Biosensoren und mehr. AW 105R ist in der Lage, unter MEMS-Bedingungen (Micro-Electro Mechanical Systems) zu verarbeiten, und ein Fourier Transform-Infrarot (FT-IR) -Analysator wird verwendet, um eine qualitativ hochwertigste Analyse der gewonnenen Proben zu gewährleisten. Die gesamte Maschine ist modular aufgebaut und für eine Vielzahl von zukünftigen Entwicklungen ausgelegt. Kurz gesagt, ALLWIN21 AW 105R Rapid Thermal Processor ist die perfekte Gerätewahl für diejenigen, die schnell eine breite Palette von Materialien mit vollständiger Genauigkeit und Temperaturregelung verarbeiten möchten. Mit seiner hohen Leistungsstärke und den einfach zu bedienenden Funktionen können Forscher sicher sein, dass ihre Probe genau nach Bedarf verarbeitet wird, ohne dabei auf Genauigkeit zu verzichten.
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