Gebraucht ALLWIN21 AW 105R #9201878 zu verkaufen

ID: 9201878
Wafergröße: 2"-6"
Plasma etcher, 2"-6" Wafer loading: 3-Axis robot Stationary cassette plate Plasma power: 600W Air-cooled Type: Parallel / Single wafer process Gas lines: 1-3 Lines MFCs Main frame with circuit breakers, solenoid valves Keyboard, mouse, cables Anodized reactor with door Chamber base plate with water sensor Upper and lower electrodes Quartz showerhead & diffusion disk Main control and distribution PCBs RF Matching network with PCBs RF Generator: 13.56MHz Center aligner / Cassette station: Two dimensions Four dimensions Base plate and ceramic ring: Reactor Chuck In-line filter and solenoid isolation valve: One MFC Two MFCs Three MFCs AC/DC Box: Temperature controller MKS Baratron: Isolation valve Throttle valve Main vacuum valve Front EMO, interlocks Touch screen GUI, 15" Asher rate: 0.5-1.5 um/Min (200 to 250 ºC) Bulk strip: 600 A/Min (100 ºC) Uniformity: <±8% (Max-min) Strip: <±5% (Max-min) Particulate: <0.05/cm2 Selectivity: >1000:1 MTBF / MTTA / MTTR: 450 Hours / 100 Hours / 3.5 Hours / Better Production-proven plasma asher / Descum Uniformity: Up to 3%-5% Frontside and backside isotropic removal Consistent wafer-to-wafer process cycle repeatability Element heating: Up to 250°C Wafer capability (50mm-150mm): Up to 6.25” substrate Thickness wafer: 50um Options: End-of-process (EOP) Vacuum pump Chiller: Chamber base plate Applications: GaAs, InP, GaN, SiC Wafer strip GaAs, InP, GaN, SiC Wafer descum Thin film head resist cleaning Opto-electronic devices cleaning MEMS Photoresist stripping: High dose implant Rework Post-polysilicon Post-metal Post-oxide Controlled resist removal: Post-develop descum Uniformity capability: (<5% 1σ) Plumbed process gases: O2, N2 Cooling water: GPM House circulating supply Facility exhaust: 100 CFM Power: 190-240VAC, single phase, 30A, 50/60Hz.
ALLWIN21 AW 105R Rapid Thermal Processor ist eine präzise thermische Verarbeitungsanlage, ideal für eine Vielzahl von Forschungs- und Industrieanwendungen. Die hochmoderne Ausrüstung verwendet einen robusten Graphit-Heizblock für konstante Leistung bei Temperaturen bis 1250 ° C und einen ultrapräzisen Temperaturregler für beispiellose Genauigkeit und Stabilität während des Betriebs. AW 105R wurde entwickelt, um schnelle Heiz- und Kühlzyklen mit einer durchschnittlichen Zeit von 5 Minuten zu ermöglichen. Dies ermöglicht eine effiziente und effektive Verarbeitung beliebiger Werkstoffgrößen ohne Einbußen bei der Präzision. ALLWIN21 AW 105R nutzt eine Nennleistung von 8.5kW und verfügt über ein einzigartiges verriegeltes Türsystem, um die Sicherheit während des Betriebs zu maximieren. Das Gerät verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, eine vakuumthermologische Prozesssteuerung und ein Anemometer/Feuchtigkeitsmessgerät, um eine sichere und saubere Prozessumgebung zu gewährleisten. Die Maschine ist für einfache Wartung und effizienten Betrieb ausgelegt. AW 105R Rapid Thermal Processor verfügt über ein einfaches Vakuumpumpwerkzeug und einen hochwertigen Graphitheizblock mit unabhängiger Temperaturmessung. Mit einem vollautomatisierten Bedienfeld können Benutzer mit minimalem Setup schnell einsatzbereit sein. ALLWIN21 AW 105R ist mit einer leistungsstarken motorisierten Bühne und einem breiten Sortiment an Zubehör ausgestattet, einschließlich Quarzkammern, Hebevorrichtungen und mehreren Waferhöhen. Die Anlage ist kompatibel mit einer Vielzahl von Materialsubstraten: Silizium-Wafer, Polymerfilme, Kohlenstoff-Nanoröhren-Arrays, Biosensoren und mehr. AW 105R ist in der Lage, unter MEMS-Bedingungen (Micro-Electro Mechanical Systems) zu verarbeiten, und ein Fourier Transform-Infrarot (FT-IR) -Analysator wird verwendet, um eine qualitativ hochwertigste Analyse der gewonnenen Proben zu gewährleisten. Die gesamte Maschine ist modular aufgebaut und für eine Vielzahl von zukünftigen Entwicklungen ausgelegt. Kurz gesagt, ALLWIN21 AW 105R Rapid Thermal Processor ist die perfekte Gerätewahl für diejenigen, die schnell eine breite Palette von Materialien mit vollständiger Genauigkeit und Temperaturregelung verarbeiten möchten. Mit seiner hohen Leistungsstärke und den einfach zu bedienenden Funktionen können Forscher sicher sein, dass ihre Probe genau nach Bedarf verarbeitet wird, ohne dabei auf Genauigkeit zu verzichten.
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