Gebraucht ALLWIN21 AW 901e #9201807 zu verkaufen
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ID: 9201807
Wafergröße: 3"-6"
Plasma etcher, 3"-6"
Wafer loading: 3-Axis robot
Stationary cassette plate
Plasma power: RF 13.56 MHz
Type: Parallel / Single wafer process
Stand alone
Gas lines: 1-3 Lines
Throughput: 30-60 WPH, Process dependent
Temperature: 6-65ºC (±2 ºC) Capability
Gas lines: (4) Gas lines with MFCs
Etcher rate:
AW-901eR: 0-8000A / minute
AW-903eR: 0-4000A / minute
Process dependent
Uniformity: Up to ±3%, Process dependent
Particulate: <0.05 / cm2
Selectivity:
901eR: 2-20:1
AW-903eR: 2-20:1
Process dependent
MTBF / MTTA / MTTR: 450 Hours / 100 Hours / 3.5 Hours
Options:
EOP Module with PCB
GEM/SECS II Function
Lamp tower alarm with buzzer
Throttle valve pressure control
Vacuum pump
Chiller for chuck and chamber
Through the wall
Main frame, standard
Pentium class PC with
Keyboard
Mouse
USB
SW Backup
Cables
Chuck:3"-6"
Wafer aligner / Cooling station
3-Axis integrated solid robot:
H-Zero (Standard)
H1-7 x 10.5 (TTW)
Fixed cassette station:
Chuck assembly
901eR Non-anodized
903eR Anodized with flat
903eR Anodized with flat
903eR Non-anodized with flat
Reactor Assembly:
901eR Non-anodized
903eR Anodized
903eR Non-anodized
903eR High performance
Direct cooling
Non direct cooling
Pins:
Quartz
Ceramic SST
Centering ring:
Aluminum
Ceramic
Main control board:
Gas box with (4) inline gas lines, MFC, filters, and pneumatic valves
RF Matching network with PCB
RF Generator: 13.56 MHz
MKS Elite: 300 HD
MKS Elite: 600 HD
MKS Elite: 1000 HD
ENI ACG 3
ENI ACG 10
AC / DC Box
ATM Sensor
UPC Pressure control
225 SCCM: 901eR
2000 SCCM: 903eR
MKS Baratron with peumatic Iiolation valve
Main vacuum valves
Front EMO interlocks
Touch screen GU, 15"
AW-901eR AW-903eR
Material etched Polysilicon / Nitride Oxide,SOG,Nitride
Main etchant gases SG6, O2 / SF6,O2 CHF3,SF6,He
Other gases CHCLF2 / None None
Pressure (mTorr) 200-450 / 250-350 1600-3000
RF Power (Watts) 100-250 / 200-300 400-600
Temperature (C) 30 / 30 23
AC Power:
AC Module: 200-240 VAC Selectable, 50/60 Hz, 3-wire single-phase
Temperature controller: 200-240 VAC, 50/60 Hz, 3-wire single-phase
Vacuum pump: 208-230 / 460 VAC, 60 Hz or 200-220 / 380 VAC, 50Hz, 3 Phase
RF Generator: 200-240 VAC
PC / Monitor: 115 VAC
Cabinet exhaust: 100 cfm.
ALLWIN21 AW 901e ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der für eine Vielzahl von Herstellungsverfahren für Halbleiter und elektronische Bauelemente verwendet wird. Es ist eine Mehrzonenausrüstung, die schnelllaufendes Beispielladen/Entleerung, unabhängige Heizung/Abkühlen, genaue Temperaturkontrolle und fakultative Wasserstoffverminderungsfähigkeiten verbindet. Seine Konstruktion ermöglicht es dem System, schneller und effizienter als herkömmliche RTP-Systeme zu arbeiten, was Zeit und Ressourcen spart. AW 901e nutzt eine Dynamic Optimization Control Unit (DOCS), die es ermöglicht, individuelle Heiz- und Kühlraten exakt an die physikalischen Eigenschaften der Last anzupassen. Dies gewährleistet Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit des Prozesses, unabhängig vom verarbeiteten Material. Es ist auch mit einer On-Board-Datenerfassungsmaschine und einer Vielzahl von Alarmfunktionen ausgestattet, die eine detaillierte Überwachung und Aufzeichnung verschiedener Aspekte des Prozesses ermöglichen. ALLWIN21 AW 901e verwendet einen dreistufigen Prozess, um eine genaue und wiederholbare Heizung und Kühlung zu gewährleisten. Die erste Stufe ist die Temperaturrampe, die schnell die Zieltemperatur erreicht. Die zweite Stufe ist ein Einweichzyklus, der es der Probe ermöglicht, ein thermisches Gleichgewicht zu erreichen. Es folgt ein schneller Abkühlprozess, der die Temperatur schnell senkt und Probenschäden verhindert. AW 901e wurde entwickelt, um benutzerfreundlich zu sein, mit automatischen Rezepten und Sequenzkontrolleinstellungen, die eine schnelle und einfache Einrichtung des gesamten Prozesses ermöglichen. Es verfügt auch über verschiedene Sicherheitsfunktionen wie eine Lüfterübersteuerung und Übertemperaturerkennung. Dies ermöglicht einen sicheren Betrieb und sichert die Genauigkeit des Prozesses. ALLWIN21 AW 901e kann für eine Vielzahl von Oxidentfernung, Schnelltemperaturglühen, schnelles Abkühlen, Härten, Hochtemperaturbacken und Löten Anwendungen verwendet werden. Sein flexibles Design ermöglicht die Anpassung des Prozesses und eine kompakte Größe ermöglicht die Installation an verschiedenen Orten. Es ist eine zuverlässige, kostengünstige Lösung für viele anspruchsvolle Anwendungen.
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