Gebraucht ALLWIN21 AW 901e #9201818 zu verkaufen
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ID: 9201818
Wafergröße: 3"-6"
TTW Plasma etcher, 3"-6"
Wafer loading: 3-Axis robot
Stationary cassette plate
Plasma power: RF 13.56 MHz
Type: Parallel / Single wafer process
Through the wall (TTW)
Gas lines: 1-3 Lines
Throughput: 30-60 WPH, Process dependent
Temperature: 6-65ºC (±2 ºC) Capability
Gas lines: (4) Gas lines with MFCs
Etcher rate:
AW-901eR: 0-8000A / minute
AW-903eR: 0-4000A / minute
Process dependent
Uniformity: Up to ±3%, Process dependent
Particulate: <0.05 / cm2
Selectivity:
901eR: 2-20:1
AW-903eR: 2-20:1
Process dependent
MTBF / MTTA / MTTR: 450 Hours / 100 Hours / 3.5 Hours
Options:
EOP Module with PCB
GEM/SECS II Function
Lamp tower alarm with buzzer
Throttle valve pressure control
Vacuum pump
Chiller for chuck and chamber
Through the wall
Main frame, standard
Pentium class PC with
Keyboard
Mouse
USB
SW Backup
Cables
Chuck:3"-6"
Wafer aligner / Cooling station
3-Axis integrated solid robot:
H-Zero (Standard)
H1-7 x 10.5 (TTW)
Fixed cassette station:
Chuck assembly
901eR Non-anodized
903eR Anodized with flat
903eR Anodized with flat
903eR Non-anodized with flat
Reactor Assembly:
901eR Non-anodized
903eR Anodized
903eR Non-anodized
903eR High performance
Direct cooling
Non direct cooling
Pins:
Quartz
Ceramic SST
Centering ring:
Aluminum
Ceramic
Main control board:
Gas box with (4) inline gas lines, MFC, filters, and pneumatic valves
RF Matching network with PCB
RF Generator: 13.56 MHz
MKS Elite: 300 HD
MKS Elite: 600 HD
MKS Elite: 1000 HD
ENI ACG 3
ENI ACG 10
AC / DC Box
ATM Sensor
UPC Pressure control
225 SCCM: 901eR
2000 SCCM: 903eR
MKS Baratron with peumatic Iiolation valve
Main vacuum valves
Front EMO interlocks
Touch screen GU, 15"
AW-901eR AW-903eR
Material Etched Polysilicon / Nitride Oxide,SOG,Nitride
Main etchant gases SG6, O2 / SF6,O2 CHF3,SF6,He
Other gases CHCLF2 / None None
Pressure (mTorr) 200-450 / 250-350 1600-3000
RF Power (Watts) 100-250 / 200-300 400-600
Temperature (C) 30 / 30 23
AC Power:
AC Module: 200-240 VAC Selectable, 50/60 Hz, 3-wire single-phase
Temperature controller: 200-240 VAC, 50/60 Hz, 3-wire single-phase
Vacuum pump: 208-230 / 460 VAC, 60 Hz or 200-220 / 380 VAC, 50Hz, 3 Phase
RF Generator: 200-240 VAC
PC / Monitor: 115 VAC
Cabinet exhaust: 100 cfm.
ALLWIN21 AW 901e ist ein Rapid Thermal Processor (RTP) mit einer Vielzahl von Funktionen, die es besonders nützlich für Re-Flow-Lötanwendungen machen. Beim Re-Flow-Löten wird Lötpaste auf die Platte und Komponenten aufgebracht. Die Bauteile werden dann auf die Platte gelegt und bei hoher Temperatur erhitzt, um das Lot zu schmelzen und eine zuverlässige elektrische Verbindung herzustellen. AW 901e wurde entwickelt, um schnelle thermische Verarbeitung (RTP) mit schnellen Zykluszeiten und hohen Temperaturen bereitzustellen, so dass es gut für diese Art von Anwendung geeignet ist. ALLWIN21 AW 901e hat eine maximale Heiztemperatur von 350 ° C, die höher ist als viele andere RTPs auf dem Markt. Diese hohe Temperatur sorgt dafür, dass das Lot schnell schmilzt und die elektrischen Verbindungen zuverlässig sind. Die maximale Kammergröße beträgt 24 „x24“ und ist somit für größere Anwendungen geeignet. Das Heizelement ist ein keramischer Infrarotheizer, der hilft, die Energiekosten zu senken und eine hohe Temperaturgenauigkeit zu gewährleisten. Das Gerät ist zudem mit 3 Temperaturprogrammen ausgestattet, die Flexibilität im Herstellungsprozess ermöglichen. AW 901e ist sowohl unter Berücksichtigung der Sicherheit als auch der Effizienz konzipiert. Das Gerät verfügt über einen Druckschalter, der während der Verarbeitung einen korrekten Luftdruck gewährleistet, wodurch Brände durch fehlerhaftes Löten verhindert werden. Die Kühlsysteme sollen dazu beitragen, Temperaturgradienten in der Kammer zu minimieren, was dazu beiträgt, dass die Komponenten nicht überhitzen und beschädigt werden. Das Gerät verfügt außerdem über einen PID-Temperaturregler, der eine präzise Temperaturregelung und Stabilität gewährleistet. ALLWIN21 AW 901e ist hocheffizient und sorgt für eine gleichmäßige Erwärmung. Dank seiner schnellen Zykluszeiten kann es die Arbeitskosten während des Reflow-Lötprozesses deutlich reduzieren. Seine Benutzerfreundlichkeit macht es ideal für die Produktion, und seine niedrigen Kosten macht es zu einer attraktiven Option für viele Unternehmen. Insgesamt bietet AW 901e ein leistungsstarkes RTP mit schnellen Heizzeiten und gleichmäßiger Erwärmung. Mit einer maximalen Temperatur von 350 ° C ist es gut für Reflow-Lötanwendungen geeignet und umfasst eine Vielzahl von Funktionen, die auf Sicherheit und Effizienz ausgelegt sind. Es ist auch kostengünstig und einfach zu bedienen, so dass es eine gute Option für Unternehmen, die ihren Lötprozess zu rationalisieren.
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