Gebraucht ALLWIN21 AW 901e #9201818 zu verkaufen

ALLWIN21 AW 901e
ID: 9201818
Wafergröße: 3"-6"
TTW Plasma etcher, 3"-6" Wafer loading: 3-Axis robot Stationary cassette plate Plasma power: RF 13.56 MHz Type: Parallel / Single wafer process Through the wall (TTW) Gas lines: 1-3 Lines Throughput: 30-60 WPH, Process dependent Temperature: 6-65ºC (±2 ºC) Capability Gas lines: (4) Gas lines with MFCs Etcher rate: AW-901eR: 0-8000A / minute AW-903eR: 0-4000A / minute Process dependent Uniformity: Up to ±3%, Process dependent Particulate: <0.05 / cm2 Selectivity: 901eR: 2-20:1 AW-903eR: 2-20:1 Process dependent MTBF / MTTA / MTTR: 450 Hours / 100 Hours / 3.5 Hours Options: EOP Module with PCB GEM/SECS II Function Lamp tower alarm with buzzer Throttle valve pressure control Vacuum pump Chiller for chuck and chamber Through the wall Main frame, standard Pentium class PC with Keyboard Mouse USB SW Backup Cables Chuck:3"-6" Wafer aligner / Cooling station 3-Axis integrated solid robot: H-Zero (Standard) H1-7 x 10.5 (TTW) Fixed cassette station: Chuck assembly 901eR Non-anodized 903eR Anodized with flat 903eR Anodized with flat 903eR Non-anodized with flat Reactor Assembly: 901eR Non-anodized 903eR Anodized 903eR Non-anodized 903eR High performance Direct cooling Non direct cooling Pins: Quartz Ceramic SST Centering ring: Aluminum Ceramic Main control board: Gas box with (4) inline gas lines, MFC, filters, and pneumatic valves RF Matching network with PCB RF Generator: 13.56 MHz MKS Elite: 300 HD MKS Elite: 600 HD MKS Elite: 1000 HD ENI ACG 3 ENI ACG 10 AC / DC Box ATM Sensor UPC Pressure control 225 SCCM: 901eR 2000 SCCM: 903eR MKS Baratron with peumatic Iiolation valve Main vacuum valves Front EMO interlocks Touch screen GU, 15" AW-901eR AW-903eR Material Etched Polysilicon / Nitride Oxide,SOG,Nitride Main etchant gases SG6, O2 / SF6,O2 CHF3,SF6,He Other gases CHCLF2 / None None Pressure (mTorr) 200-450 / 250-350 1600-3000 RF Power (Watts) 100-250 / 200-300 400-600 Temperature (C) 30 / 30 23 AC Power: AC Module: 200-240 VAC Selectable, 50/60 Hz, 3-wire single-phase Temperature controller: 200-240 VAC, 50/60 Hz, 3-wire single-phase Vacuum pump: 208-230 / 460 VAC, 60 Hz or 200-220 / 380 VAC, 50Hz, 3 Phase RF Generator: 200-240 VAC PC / Monitor: 115 VAC Cabinet exhaust: 100 cfm.
ALLWIN21 AW 901e ist ein Rapid Thermal Processor (RTP) mit einer Vielzahl von Funktionen, die es besonders nützlich für Re-Flow-Lötanwendungen machen. Beim Re-Flow-Löten wird Lötpaste auf die Platte und Komponenten aufgebracht. Die Bauteile werden dann auf die Platte gelegt und bei hoher Temperatur erhitzt, um das Lot zu schmelzen und eine zuverlässige elektrische Verbindung herzustellen. AW 901e wurde entwickelt, um schnelle thermische Verarbeitung (RTP) mit schnellen Zykluszeiten und hohen Temperaturen bereitzustellen, so dass es gut für diese Art von Anwendung geeignet ist. ALLWIN21 AW 901e hat eine maximale Heiztemperatur von 350 ° C, die höher ist als viele andere RTPs auf dem Markt. Diese hohe Temperatur sorgt dafür, dass das Lot schnell schmilzt und die elektrischen Verbindungen zuverlässig sind. Die maximale Kammergröße beträgt 24 „x24“ und ist somit für größere Anwendungen geeignet. Das Heizelement ist ein keramischer Infrarotheizer, der hilft, die Energiekosten zu senken und eine hohe Temperaturgenauigkeit zu gewährleisten. Das Gerät ist zudem mit 3 Temperaturprogrammen ausgestattet, die Flexibilität im Herstellungsprozess ermöglichen. AW 901e ist sowohl unter Berücksichtigung der Sicherheit als auch der Effizienz konzipiert. Das Gerät verfügt über einen Druckschalter, der während der Verarbeitung einen korrekten Luftdruck gewährleistet, wodurch Brände durch fehlerhaftes Löten verhindert werden. Die Kühlsysteme sollen dazu beitragen, Temperaturgradienten in der Kammer zu minimieren, was dazu beiträgt, dass die Komponenten nicht überhitzen und beschädigt werden. Das Gerät verfügt außerdem über einen PID-Temperaturregler, der eine präzise Temperaturregelung und Stabilität gewährleistet. ALLWIN21 AW 901e ist hocheffizient und sorgt für eine gleichmäßige Erwärmung. Dank seiner schnellen Zykluszeiten kann es die Arbeitskosten während des Reflow-Lötprozesses deutlich reduzieren. Seine Benutzerfreundlichkeit macht es ideal für die Produktion, und seine niedrigen Kosten macht es zu einer attraktiven Option für viele Unternehmen. Insgesamt bietet AW 901e ein leistungsstarkes RTP mit schnellen Heizzeiten und gleichmäßiger Erwärmung. Mit einer maximalen Temperatur von 350 ° C ist es gut für Reflow-Lötanwendungen geeignet und umfasst eine Vielzahl von Funktionen, die auf Sicherheit und Effizienz ausgelegt sind. Es ist auch kostengünstig und einfach zu bedienen, so dass es eine gute Option für Unternehmen, die ihren Lötprozess zu rationalisieren.
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