Gebraucht ALLWIN21 AWgage 200 #9201797 zu verkaufen
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ID: 9201797
Wafergröße: 4"- 8"
Metal film metrology system, 4"- 8"
Main frame
Measurement head
Non-contact sheet resistance measurement
Measurement range: 1m W/sq to 19,990 W/sq
Consistent wafer-to-wafer process cycle repeatability
Wafer carriage travel programmed:
With internal encoder step motor
Without encoder disk
Test sights:
Single center-point
(5) Points
(9) Points
Highly conductive or metal sheet resistance:
1 to 1,999 mW/sq
1 to 1,999 W/sq
10 to 19,990 W/sq
Highly conductive or metal film thickness minimum:
100Å (Ångström) Maximum:
Proportional to resistivity
Maximum for a resistivity of 2.7 mW: 270 kÅ (27 mm)
Sheet resistance repeatability:
Range s/X (±%)
1 to 100 mW/sq 1
100 to 500 mW/sq 2
500 to 1000 mW/sq 4
1000 to 1,999 mW/sq 6
1,999 to 5,000 W/sq Consult factory
5000 to 10,000 W/sq Consult factory
10,000 to 15,000 W/sq Consult factory
Boards:
RF Tank circuit
Pentium® class computer
Main control
Motor control
Ports:
(2) USB
(2) Extra DB9
Touch screen GUI, 15"
Mouse & keyboard
Room temperature: 23° C
Power:
50/60Hz
Single phase
110/220VAC
2 Amps
CE Marked
Wafer loading: Manual.
ALLWIN21 AWgage 200 ist ein schneller thermischer Prozessor, der entwickelt wurde, um Materialien in einer Vielzahl von Halbleiter-, Photonik- und LED-Fertigungsprozessen schnell zu erhitzen, zu kühlen und zu übertragen. AWgage 200 kann extreme Temperaturen mit Geschwindigkeiten von bis zu 1.800 ° C/min erreichen und ist somit für viele temperaturabhängige Anwendungen geeignet. Die einzigartige Werkzeug- und Wafer-basierte thermische Technologie der Ausrüstung hilft, Programmierung, Verarbeitung und Zykluszeit zu reduzieren und gleichzeitig die Integrität der Teile zu erhalten. Seine Flexibilität ermöglicht eine Vielzahl von direktionalen Heiz- und Kühlvorgängen sowie ein breites Spektrum programmierbarer Temperaturen. ALLWIN21 AWgage 200 ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu handhaben, darunter verschiedene Halbleiter- und photonische Substrate, Siliziumscheiben, Aluminiumoxid, Saphir, Quarz und Diamantensubstrate. Die fortschrittliche Wärmesteuerungstechnologie ermöglicht auch ein präzises Temperaturzonenmanagement und präzise Temperaturanstiegsraten, um genau definierte Temperaturprofile zu erstellen. Darüber hinaus verfügt das System über eine vakuumgesteuerte Umgebungsdruckkammer, kryogene Kühlfunktionen und eine austauschbare Materialhandhabungseinheit mit separaten Pumpen- und Verarbeitungsmodulen. AWgage 200 ist mit einer benutzerfreundlichen Steuerungsmaschine entwickelt, die es einfach macht, den gesamten thermischen Prozess zu steuern und zu überwachen. Die kontinuierlichen Überwachungs- und Berichtsfunktionen des Tools bieten detaillierte Aktualisierungen in Echtzeit zum Asset-Betrieb, zur Temperaturregelung und zu Zykluszeiten. Darüber hinaus halten die turbogeladenen Luftströmungsfähigkeiten die Prozesskonsistenz aufrecht, indem die vom thermischen Prozessor erwärmten Teile schnell gekühlt werden, um fehlerfreie Nachbearbeitungsteile zu ermöglichen. ALLWIN21 AWgage 200 ist ein leistungsstarker, zuverlässiger und flexibler Wärmeprozessor mit präziser Temperaturregelung, ultraschnellen Heiz- und Kühlfunktionen und gleichmäßiger Heiz-/Kühlabdeckung, um eine Vielzahl von Materialien schnell zu verarbeiten. Mit seinen überlegenen thermischen Fähigkeiten ist AWgage 200 eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Hochleistungs-thermischen Prozessen.
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