Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ACP Radiance #9399900 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS ACP Radiance ist ein schneller thermischer Prozessor, der die präzise schnelle thermische Verarbeitung von Wafern in Halbleiter- und MEMS-Gießereianwendungen (Microelectro Mechanical Systems) ermöglicht. Diese kompakte, automatisierte Ausrüstung bietet eine präzise Kontrolle über die thermische Behandlung einer Vielzahl von Materialien mit schnellen Ansprechzeiten, hohem Durchsatz und gleichmäßigen Temperaturen über das Substrat. AMAT ACP Radiance verwendet zwei verschiedene Arten von Bestrahlungs- und Temperaturregelungsverfahren, um die Temperatur des Substrats genau zu steuern. Dazu gehören sowohl direkte als auch indirekte Infrarot (IR) -Heizung sowie Dual/Multi-Zone-Gaskontrolle und Strahlungsabschaltungsmöglichkeiten. Die direkte IR-Heizung verwendet einen kollimierten Eingang-zu-Ausgang-Lichtstrahl eines Diodenarrays, der auf die Probenoberfläche fokussiert ist und eine schnelle und gleichmäßige Erwärmung ermöglicht. Indirekte IR verwendet ein Reflektorsystem und eine Schwarzkörperquelle, um ein gleichmäßiges thermisches Profil über die Probe aufrechtzuerhalten. Die Gassteuerungsfunktion von APPLIED MATERIALS ACP Radiance bietet eine zusätzliche Temperaturregelung und Prozesswiederholbarkeit zur schnellen thermischen Verarbeitung. Die Einheit ist in der Lage, mehrere Gase von einer einzigen Prozesskammer zum Substrat zu pendeln, um unterschiedliche Gaskonzentrationen und Durchflussraten zu erzeugen. Diese Funktion bietet eine präzisere Temperaturregelung für kurze und lange Prozesse. Dieser innovative Wärmeprozessor umfasst fortschrittliche Kühlmaschinenkomponenten wie Thermoelemente zur präzisen Temperaturüberwachung und -regelung. Ein geschlossenes Temperaturregelwerkzeug sorgt für eine konstante Temperatur basierend auf Rückmeldungen aus den Überwachungskomponenten des Asset. Diese Funktion hilft, eine gleichmäßige, wiederholbare Verarbeitung mit minimalem Temperaturgradient über den Wafer zu erhalten. ACP Radiance Modell ist entworfen, um die Zykluszeit für schnelle thermische Verarbeitung zu reduzieren, ohne die Qualität des Prozesses oder die Zuverlässigkeit des Materials zu beeinträchtigen. Mit einem intuitiven Prozesscontroller und einer benutzerfreundlichen grafischen Softwareschnittstelle ist AMAT/APPLIED MATERIALS ACP Radiance einfach zu bedienen und mit minimalem Eingriff oder manueller Abstimmung zu programmieren. Dieser vielseitige thermische Prozessor eignet sich für eine Reihe von Halbleiter- und MEMS-Anwendungen, einschließlich hochvergrößerter Messtechnik (AFM/STM/TEM), Wafer-Stoßen, Flip-Chip-Bonden, Die-Bonding, MEMS-Herstellung und mehr. AMAT ACP Radiance bietet eine präzise Temperaturregelung während der schnellen thermischen Verarbeitung, so dass Anwender konsequenter verarbeitete Materialien mit niedrigeren Abbaugraden erzielen können.