Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPN+ Radiance #9263061 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS DPN + Radiance ist ein schneller thermischer Prozessor, der für eine fortschrittliche Prozesssteuerung und einen zuverlässigen, wiederholbaren thermischen Prozess entwickelt wurde. Es ist in der Lage, gleichmäßige Temperaturen zwischen Raumtemperatur und über 1000 ° C bei schneller thermischer Verarbeitung bis zu 1500 ° C anzuwenden. Die Radiance-Ausrüstung ist mit einem leistungsstarken Konvektionsheizsystem ausgestattet, das Strahlungswärmeübertragung (RHT) -Technologie mit einer geschlossenen Luftumwälzeinheit beinhaltet. Dies ermöglicht eine schnellere Heizung und Kühlung, um kurze Zykluszeiten und eine präzise Temperaturrampenratenregelung zu ermöglichen. Die Strahlungsmaschine bietet auch überlegene Temperaturgleichförmigkeit, mit niedriger thermischer Varianz und enger Temperaturregelgenauigkeit. Das Strahlungswerkzeug ist mit fortschrittlichen Überwachungs- und Steuerungsfunktionen ausgestattet. Das integrierte Recipe Management Asset (RMS) bietet genaue programmierbare Rezepte für Losgrößen von einzelnen Wafern bis zu mehreren hundert Wafern. Die fortschrittliche Steuerungssoftware von AMAT DPN + Radiance ermöglicht zukünftige Upgrades durch Software-Downloads und bietet Skalierbarkeit und Flexibilität in einer Vielzahl von Fertigungsumgebungen. Das Modell kann auch Live-Echtzeit-Tuning für eine optimale thermische Prozesssteuerung durchführen. Die Strahlungsausrüstung verwendet robuste, hochwertige Materialien, um einen effizienten Betrieb und eine lange Lebensdauer zu gewährleisten. Seine hohe, atmosphärische Kammer ist aus Hochtemperatur-Edelstahl gefertigt und mit Keramik- und Quarzkomponenten für eine optimale Isolierung ausgekleidet. Seine vakuumdichte vertikale Schiebetür bietet einfachen Zugang zum Be- und Entladen von Wafern, und sein Luftströmungssystem ist mit einer IR-Strahlungsmethode von Wafern gekoppelt, die sich schnell und gleichmäßig aufheizen. Die Radiance-Einheit bietet zudem eine optionale Dual-HiPIMS-Quelle für überlegene Temperaturgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit. Die HiPIMS-Technologie kann verwendet werden, um die Gleichmäßigkeit der Temperatur zu erhöhen und gleichzeitig die Oxidation auf Aluminiumschichtoberflächen zu reduzieren. Darüber hinaus umfasst die Radiance-Maschine integrierte Sicherheitsmerkmale wie Umgebungsdruckkontrolle und Übertemperaturschutz, um die Sicherheit aller Komponenten und des Personals zu gewährleisten. ANGEWANDTE MATERIALIEN DPN + Strahlungswerkzeug ermöglicht einen wiederholbaren und zuverlässigen thermischen Prozess, um in einer Vielzahl von Fertigungsanwendungen einheitliche Ergebnisse zu erzielen. Die fortschrittlichen Prozesskontrollfunktionen und zuverlässigen Komponenten ermöglichen ein optimales, präzises Wärmeverhalten und hohe Produktionsausbeuten.