Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Radiance RTP #9026095 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9026095
Chamber only, 12"
Included with Chamber:
Edge Ring
Rotor; Post
Rotation; Maglev
Radiance Reflector plate (no He Purge)
Pyrometer gauges
Radiance Lamp (full set included)
Rev 1 Lamp head assembly
Remote Radiance Power Box
Original RTC computer (converted to Ethernet)
Gas Panel: ISSG Ready
Gas Lines: N2, O2, H2, N2O, NO, NH3
Unit 8156 MFCs
Not Included with Chamber:
System Main-frame
Main-Frame Power box
Vacuum Pump
Power Interconnects
Note: Chamber has not been decontaminated
Idle date: 2009
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Radiance RTP ist ein revolutionäres Werkzeug für die schnelle thermische Verarbeitung, das überlegene Geräteleistung und Ausbeute für die fortschrittliche Halbleiterherstellung bietet. Die einzigartige mikrowelleninduzierte Plasmatechnologie des RTP maximiert die Energieeffizienz durch den Einsatz von Hochfrequenzfrequenzen zur schnellen Erwärmung und Kühlung von Wafern in reinraumarmer Luft ohne direkten Kontakt mit dem Substrat. Diese Methode beseitigt jede Möglichkeit einer Kontamination durch direkten Kontakt und macht AMAT Radiance RTP zum idealen Werkzeug für die Herstellung mehrerer Schichten von Geräten mit hoher Genauigkeit und Konsistenz. ANGEWANDTE MATERIALIEN Radiance RTP bietet vier thermische Verarbeitungsmöglichkeiten für die Abstimmung von thermischen Profilen von kommunikationsarmen Verbindungen. Dazu gehören Tieftemperatur-Schnellglühen (LT-RTA), schnelle thermische Nitridation (RTN), schnelle thermische Oxidation (RTO) und schnelle thermische Verarbeitung (RTP). Jede dieser Optionen kann individuell konfiguriert und gesteuert werden, um eine präzise thermische Steuerung zu ermöglichen. RTP bietet auch eine Fähigkeit zur schnellen Auf-Wafer-Strukturierung und nichtflüchtigen Speichergerätebildung. Radiance RTP verfügt über einen hochmodernen digitalen industriellen Controller, der Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Benutzerfreundlichkeit bietet. Dazu gehört ein Echtzeit-Monitor und der Trend zu Schlüsselparametern wie Substrattemperatur, Zeit und Druck. Der Zugriff auf historische Daten, Diagnoseaktionen und die Planung von Wartungsaufgaben wird mit der AMAT ControlNet Software ermöglicht. In Bezug auf die Umweltleistung bietet AMAT/APPLIED MATERIALS Radiance RTP reduzierte Partikelwerte, minimierte Abfallerzeugung und emissionsfreie Verarbeitung. Der On-Wafer-Plasmaquellengenerator bietet außerdem eine erhöhte Prozessstabilität und Gleichmäßigkeit, indem er eine überschüssige Taktrate bereitstellt, die dabei hilft, Kristallschäden zu vermeiden und die Lebensdauer des Geräts zu verlängern. AMAT Radiance RTP ist ein vielseitiges Werkzeug für fortschrittliche Halbleiterherstellung und Geräteproduktion. Die schnelle thermische Verarbeitung bietet eine hohe Genauigkeit und Konsistenz, ein geringes Kontaminationsrisiko und eine Umweltleistung, die den strengsten Industriestandards entspricht. Mit seiner revolutionären mikrowelleninduzierten Plasmatechnologie und dem hochmodernen digitalen industriellen Controller ist APPLIED MATERIALS Radiance RTP die optimale Wahl für Hochleistungs- und Hochleistungsfertigung.
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