Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #293706716 zu verkaufen
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ID: 293706716
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2013
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
2013 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan™ ist ein schneller thermischer Prozessor, der speziell entwickelt wurde, um die höchste verfügbare thermische Verarbeitungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit zu liefern. Diese fortschrittliche Ausrüstung sorgt für leistungsstarke und kostensensitive Lösungen in einer Vielzahl von thermischen Verarbeitungsanwendungen. AMAT Vantage Vulcan verwendet eine innovative Kombination aus fortschrittlicher Gasmanagementtechnologie und hochpräziser Bewegungssteuerung, um die höchste Gleichmäßigkeit der Temperatur und die genaue Temperaturänderungsleistung zu gewährleisten. Sein hocheffizientes, kostengünstiges Design macht es ideal für eine Vielzahl von thermischen Verarbeitungsanforderungen geeignet, einschließlich Oxidation, Nitridation, Diffusion, Glühen, Abscheidung und vieles mehr. ANGEWANDTE MATERIALIEN Vantage Vulcan verfügt auch über eine ausgeklügelte Benutzeroberfläche, mit der Bediener die Parameter ihrer thermischen Prozesse schnell konfigurieren und anpassen können. Vantage Vulcan bietet maximale Flexibilität und Vielseitigkeit mit einem geringen Platzbedarf, der es ermöglicht, mehrere thermische Prozesse gleichzeitig durchzuführen. Es bietet bis zu drei unabhängige Temperaturzonen, von denen jede in Batch- oder kontinuierlichen Verarbeitungsmodi arbeiten kann. Das fortschrittliche Kontrollsystem von AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan sorgt für maximale Genauigkeit und Wiederholbarkeit durch präzise Temperaturregelung auf Waferebene. Kaskadierte Temperaturpunkte werden auf Waferebene überwacht, um eine enge Temperaturregelung für eine präzise Profilanpassung zu gewährleisten. Die kundenspezifische Gasmisch- und Fördereinheit von AMAT Vantage Vulcan verwendet einen geregelten Gasstrom aus Sauerstoff und Stickstoff, um wiederholbare und vorhersehbare Abscheidungen zu gewährleisten. Die Gassteuermaschine nutzt auch eine verbesserte automatisierte Gaszufuhr zum Substrat für eine verbesserte Prozessgleichförmigkeit. ANGEWANDTE MATERIALIEN Vantage Vulcan ist eine ideale Lösung für eine Vielzahl von thermischen Prozessanforderungen. Sein fortschrittliches Design und seine Technologie machen es zu einer zuverlässigen Lösung für jede thermische Verarbeitungsanwendung, die gleichbleibende Qualität und wiederholbare Ergebnisse ermöglicht.
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