Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #293754435 zu verkaufen
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ID: 293754435
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der eine leistungsstarke, kostengünstige Alternative zur traditionellen thermischen Verarbeitung bietet. AMAT Vantage Vulcan wird in Halbleiter- und Flachbildschirm-Anwendungen (FPD) eingesetzt und kombiniert einen schnellen thermischen Annealer (RTA) mit einem reaktiven Ionenätzgerät (RIE), das Plasmaätz- und Glühoperationen in situ ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Vantage Vulcan ist in der Lage, hochwertige Folien- und Oberflächenbehandlungen sowie schnelle thermische Prozesse zu erreichen, die für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiter- oder Flachbildschirmkomponenten von entscheidender Bedeutung sind. Die verbesserte Durchsatzleistung von Vantage Vulcan ermöglicht es, eine höhere Produktivität zu erzielen und die Verarbeitungszeiten im Vergleich zu anderen herkömmlichen thermischen Prozessoren zu reduzieren. Das System wurde mit einer fortschrittlichen Multi-Zone-Steuerung entwickelt, die eine hohe thermische Gleichmäßigkeit und Präzision der thermischen Steuerung bietet und gleichzeitig einen kostengünstigen Betrieb aufrechterhält und eine hervorragende Investitionsrendite bietet. AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan integriert auch die Mehrzonensteuerung von Druck, Gasfluss, Temperatur, Behandlungszeit und anderen Parametern, um eine hochpräzise Plasmaprozesssteuerung zu ermöglichen. AMAT Vantage Vulcan kann auch mit einer Vielzahl fortschrittlicher Prozesstechnologien wie Atomic Layer Deposition (ALD) und Chemical Vapor Deposition (CVD) verwendet werden. Durch die Verwendung der neuesten plasmaverbesserten Prozesse kann die Einheit eine überlegene Filmgleichförmigkeit bei minimierter thermischer Beanspruchung erreichen, wodurch die Filmhaftung und die elektrische Leistung verbessert werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN Vantage Vulcan kann die Produktivität durch die Integration mit anderen Geräten und die Bereitstellung von Batch-Verarbeitungsfähigkeit weiter steigern. Mit seinen schnellen Kühl- und Heizraten ist die Maschine ideal für die schnelle und effiziente Bearbeitung einer großen Anzahl von Substraten bei hoher Gleichmäßigkeit. Darüber hinaus kann das Werkzeug in einer Vielzahl von Prozesskammern betrieben werden, wodurch es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist. Insgesamt ist Vantage Vulcan eine hochentwickelte thermische Prozessanlage, die maximale Produktivität, optimale Prozessgleichförmigkeit und Prozesskontrolle bietet. Dieses Modell eignet sich besonders für Anwendungen, die eine schnelle thermische Verarbeitung oder hochwertige Folienbehandlungen erfordern. Mit seinen niedrigen Betriebskosten und der verbesserten Durchsatzleistung wird AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan zunehmend von führenden Herstellern der Halbleiter- und Flachbildschirmindustrie übernommen.
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