Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9293645 zu verkaufen
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ID: 9293645
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2014
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
2014 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan ist eine schnelle thermische Verarbeitungsanlage, die entwickelt wurde, um schnelle Temperaturrampenraten in einer Vielzahl von spezifischen Prozesstemperaturen in einem breiten Temperaturbereich bereitzustellen. Es dient zur schnellen Erwärmung oder Kühlung eines Substrats für Verarbeitungsanwendungen. Dieses System ist mit einem beheizten Schrank, einer Zeus RTP-Steuerung, einem Ofenmodul, einer Computersteuerung und einer Softwareschnittstelle ausgestattet. Der beheizte Schrank ist für eine kontrollierte Heizung Ihres Substrats ausgelegt. Es hat eine einzigartige Bypass-Strömungseinheit und isolierte Wände für gleichmäßige, gleichmäßig verteilte Ströme von Heißluft. Der beheizte Schrank ist einstellbar, um spezifischen Temperaturbedürfnissen gerecht zu werden und somit jedes Mal Qualität, wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Der Zeus RTP Controller wurde entwickelt, um Substrattemperatur, Rampengeschwindigkeit und Druck während eines thermischen Prozesses genau zu regeln und zu steuern. Es hat einstellbaren Gasdruck und hohe Temperaturfähigkeit sowie einstellbare Prozessparameter und anpassbare Menüs. Es wurde entwickelt, um die Reproduzierbarkeit zu erhöhen und Kosten durch verbesserte Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit zu reduzieren. Das Ofenmodul ist eine Hochtemperatur-Wärmequelle, die für eine Vielzahl von Verarbeitungsparametern eingestellt werden kann. Es wurde entwickelt, um eine zuverlässige Temperaturregelung und gleichmäßige Temperaturen in jedem Prozess zu gewährleisten. Es hat auch eine Temperaturregelmaschine, um Gleichmäßigkeit und Stabilität zu gewährleisten. Der AMAT Vulcan Computer Controller kommuniziert mit dem RTP Controller und der Zeus CPU in Echtzeit und ermöglicht eine präzise Regelung von Zeit-, Temperatur- und Druckeinstellungen. Dieses Tool bietet auch Datenerfassungs- und Speicherfunktionen. Die Software-Schnittstelle macht es einfach, den vulkanischen Prozess von Ihrem Computer aus zu verwalten und zu steuern. Es enthält eine Vielzahl von benutzerfreundlichen Menüs und Dateneingabeoptionen und soll Bedienungsfehler minimieren. Diese Software ermöglicht Datenanalyse, Prozesssimulation und Rezept-Management, so dass Anwender ihren Prozess für bessere Ergebnisse optimieren können. AMAT Vantage Vulcan ist die perfekte Lösung für schnelle thermische Verarbeitungsanwendungen, die eine präzise Temperaturregelung und kurze Bearbeitungszeiten erfordern. Diese Anlage ist mit fortschrittlichen Funktionen und Funktionen ausgestattet, um zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten und Ihnen dabei zu helfen, das Beste aus Ihrer thermischen Verarbeitung herauszuholen.
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