Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9316452 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan ist ein revolutionärer Rapid Thermal Processor (RTP), der für den Einsatz in der fortschrittlichen Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. AMAT Vantage Vulcan verfügt über eine zum Patent angemeldete hocheffiziente Technologie - All-Gas Pulse Control -, die überlegene Ergebnisse der thermischen Glühverarbeitung mit Anwendungszielen von Speicher bis zu logischen Gerätestrukturen ermöglicht. Viele der Leistungsvorteile von APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan resultieren aus dem Einbau der AMAT proprietären mikrowellenunterstützten reaktiven Ätztechnologie (MARE). Vantage Vulcan verwendet MARE, um eine thermische Glühverarbeitung mit niedrigerer E-Strahl- und VUV-Intensität als herkömmliche RTP-Plattformen zu erreichen. Dies senkt das Risiko von Geräteschäden durch hohe Temperaturen und senkt die Betriebskosten, indem die RTP-Kammer weniger häufig gewartet wird. AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan bietet zudem eine überlegene Substrattemperatur-Gleichmäßigkeit mit einer Genauigkeit von mehr als ± 3 ° C, was präzise thermische Prozesse ermöglicht. Die Plattform bietet auch kürzere Zykluszeiten mit schnelleren Abklingzeiten und die Flexibilität vorkonfigurierter Single-Wafer-Rezepte. Darüber hinaus bietet AMAT Vantage Vulcan sehr geringe Emissionen von Partikeln in die Prozesskammer im Vergleich zu herkömmlicher RTP-Hardware, was einen minimalen Abbau der Kammerumgebung gewährleistet. Die Plattform bietet eine inerte oder aktive Gaseinleitung mit der Fähigkeit, den Gasfluss für die Präzisionssteuerung einzustellen. Dies bietet eine Vielzahl von Prozessmöglichkeiten sowohl für dielektrische als auch für Halbleitermesstechnik-Anwendungen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Vantage Vulcan ist ideal für beschleunigtes Glühen, schnelle Diffusion, schnelle Oxidation, Schichtfilmentwicklung und vieles mehr. Die robuste, aber kompakte Einheit ist mit einer Stickstoffkammer, einer ammoniakfreien Kammerreinigung und einem Helium-basierten Temperaturregler ausgestattet, um zuverlässige und konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Das System kann entweder in-line oder standalone betrieben werden, und es kommt mit mehreren Rezeptspeicher und voller Speicher Backup-Funktionen. Vantage Vulcan ist eine innovative RTP-Plattform, die eine hohe Mischung aus zuverlässiger Leistung und Wirtschaftlichkeit bietet.