Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9355344 zu verkaufen

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ID: 9355344
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2015
Rapid Thermal Processor (RTP), 12" 2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan Rapid Thermal Processor ist ein produktionsfähiger, in sich geschlossener, schneller thermischer Prozessor, der den strengen Anforderungen der fortschrittlichen Halbleitertechnologie gerecht wird. Es ist in der Lage, bei Temperaturen bis 1350 ° C Zeiten von 15 Sekunden oder weniger einzuschreiben. Der Vulkan besteht aus einem einzigen Gehäuse, in dem der Rapid Thermal Processor (RTP) in einer kontrollierten Umgebung untergebracht ist. Das RTP nutzt fokussierte Wärme zusammen mit patentierter, direkter Luft-Technologie, um schnell einheitliche und wiederholbare Temperaturprofile auf Wafern von bis zu 300mm zu liefern. Es wurde entwickelt, um eine Reihe anspruchsvoller Prozessanforderungen zu erfüllen, z. B. für Low-EOM, DRAM, SRAM, Flash und anderen Speicher. Der Vulcan ist einfach zu bedienen und kann konfiguriert werden, um mehrere Prozessrezepte mit genau definierten Parametern wie Prozesstemperatur, Rampenrate und Substratbewegungsrate auszuführen. Die Wiederholbarkeit und Genauigkeit des Prozesses wird durch Rezepte gewährleistet, die über die thermische Prozesssteuerungssoftware AMAT EnGen geschrieben und überwacht werden. Darüber hinaus verfügt der Vulcan über ein hochkonsistentes und zuverlässiges Scansystem, das die Details des Prozessprofils weiter gewährleistet. Der Vulcan reduziert die thermische Zykluszeit, was zu erhöhtem Durchsatz und verbesserter Effizienz führt. Es bietet auch eine Reihe von Prozessfähigkeiten, um die anspruchsvollen Anforderungen verschiedener Speicherlösungen zu erfüllen, wie Ladungspumpen, Dotierstoffdiffusion, Speicherknotenherstellung, thermische Oxidation, Low-EOM-Verarbeitung und Polysilizium-Dotierung. Der Vulcan ermöglicht die Reinraumintegration mit schnellem und effizientem Ein- und Austritt von Wafern, aber die gesamte Verarbeitung erfolgt im Gehäuse. Es ist mit Hochleistungsmaterialien gebaut, um langfristige Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht das geschlossene Design eine eigenständige Verarbeitung mit minimaler Verschmutzung und ermöglicht ein effizientes Abfall- und Wärmemanagement. Der Vulcan ist ein unglaublich zuverlässiger und effektiver schneller Wärmeprozessor und seine kompakte Bauweise macht ihn zu einer idealen Wahl für die Herstellung moderner Speicherlösungen. Es bietet eine einheitliche und wiederholbare Verarbeitung und ist zudem äußerst kosteneffizient und trägt zur langfristigen Einsparung bei.
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