Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9390649 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan ist ein schneller thermischer Prozessor (RTP), der schnelle und genaue Ergebnisse für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen liefert. Diese Ausrüstung ist für einen hohen Durchsatz und eine hohe Genauigkeit in einem kompakten Formfaktor konzipiert, was sie zu einer effizienten und kostengünstigen Lösung für die Verarbeitung von Substraten macht. Mit einem 300mm-Design kann dieses RTP für Pulsglühen und Spike-Glühen der Wafersubstrate bei Geschwindigkeiten sorgen, die viel schneller sind als herkömmliche Methoden. AMAT Vantage Vulcan führt eine schnelle thermische Verarbeitung (RTP) durch, um den Fluss und die Produktion von Wafern und anderen Substraten zu optimieren. Dieses System verwendet leistungsstarke Heizung und Kühlung, um Substrate mit Geschwindigkeiten von bis zu 1250 ° C/s schnell zu erwärmen und zu kühlen. Die Tauchbogenheizung (SAH) im Vulkan ermöglicht eine präzise und wiederholbare Verarbeitung. Diese SAH bietet zudem eine hohe Homogenität, d.h. die Wärme wird gleichmäßig verteilt und erreicht eine exakte Zieltemperatur gleichmäßig und effizient. Darüber hinaus ist die Einheit kompakt, mit minimalem Abfall und ermöglicht eine gleichmäßige Prozessgleichförmigkeit. ANGEWANDTE MATERIALIEN Vantage Vulcan bietet große Vielseitigkeit und Flexibilität. Es ermöglicht die gleichzeitige Verarbeitung mehrerer Substrate mit bis zu 6 verschiedenen Prozessrezepten. Darüber hinaus gibt diese Maschine eine präzise Kontrolle über die Dicke jeder Schicht, mit einer sehr hohen Auflösung von 2 Nanometern. Diese Präzision führt zu einer sehr hohen Produktivität, da ungeeignete Proben weniger nachverarbeitet werden müssen. Vantage Vulcan bietet auch eine hervorragende thermische Gleichmäßigkeit, mit stark reduzierter Wiederholbarkeit Variation über alle Substrattypen. Dies hilft dabei, Prozessanpassungen zu vermeiden und die Erträge in Ihrem Produktionsprozess zu steigern. Es bietet auch eine Auswahl an verschiedenen Reaktantenquellen, einschließlich H2, N2/O2, Ar/O2 und andere. Dies macht es für eine Vielzahl von Materialien und Prozesstypen geeignet, einschließlich fortgeschrittener Metalloxide. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan eine ideale Wahl für Wafer- und Substratverarbeitungsanforderungen, da es eine schnelle und genaue thermische Verarbeitung bietet. Es verfügt über ein optimiertes Design, um einen hohen Durchsatz und maximale Genauigkeit sowie eine ausgezeichnete thermische Gleichmäßigkeit und Homogenität zu bieten. Darüber hinaus bietet es eine große Vielseitigkeit und Flexibilität, mit mehreren Prozessrezepten und Reaktantenquellen. Dieses Werkzeug ist kompakt und effizient, was es sehr kostengünstig macht.