Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9398185 zu verkaufen

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ID: 9398185
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2013
Spike RTP System, 12" (2) Chamber 2013 vintage.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der für die fortschrittliche Chipherstellung entwickelt wurde. Es ist eine RTP-Ausrüstung mit einem Wafer, die Hochtemperaturverarbeitung für eine breite Palette von Gerätetechnologien bietet. AMAT Vantage Vulcan kann verschiedene Wafergrößen und Substratmaterialien aufnehmen und ist speziell für aggressive Verarbeitungsanwendungen konzipiert. ANGEWANDTE MATERIALIEN Vantage Vulcan bietet in seiner beheizten Prozesskammer eine gleichmäßige Temperatur, die eine präzise Temperaturregelung und Wafer-für-Wafer-Konsistenz ermöglicht. Es verfügt über ein proprietäres Pre-Ionizarion- und Post-Purge-System, das die Partikelabscheidung minimiert und den Zyklendurchsatz maximiert. Vantage Vulcan umfasst eine fortschrittliche Rezept-Automatisierungseinheit und ein On-Board-Monitoring (OBM) mit Echtzeit-Datenerfassung, so dass Benutzer ihren Prozess schnell optimieren können. Die Heizmaschine des Vulkaniers verfügt über ein fortschrittliches Pyrometer, so dass es Temperaturrampenraten von bis zu 20 ° C/s zu erreichen, so dass es eines der schnellsten und zuverlässigsten RTP-Systeme zur Verfügung. Es enthält auch ein fortschrittliches Gasverteilungswerkzeug, das eine präzise Durchflussregelung und einen gleichmäßigen Druck in der gesamten Prozesskammer bietet und die Stabilität und Prozessgenauigkeit der Kammer maximiert. AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan bietet auch überlegene Stabilität, thermische Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit, so dass es die ideale Wahl für fortgeschrittene Geräteherstellung. Es ist für einfache Installation und Wartung konzipiert, mit Schnellwechselkassetten, vereinfachter Waferbeladung und automatisierter Waferunterstützung. Zudem ist die Anlage dank supraleitender Vormagnetheder und kostengünstiger Kühlanlagen sehr energieeffizient. Insgesamt ist AMAT Vantage Vulcan ein leistungsfähiger und zuverlässiger Rapid Thermal Prozessor. Es bietet überlegene Temperatur Gleichmäßigkeit, Zyklusdurchsatz und schnellere Rampenraten für aggressive Verarbeitung, so dass es das ideale Werkzeug für moderne Geräteherstellung.
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