Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage #9226027 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9226027
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
Wafer type: SNNF
A & B Chamber type: RTP Radiance RP vantage
A & B RTP Radiance RP vantage chamber:
Process application: Core anneal RTO & ISSG
O2 Analyzer
Lamp driver, P/N: 0190-17056
MFC 1: N2 50 slm HORIBA Stec sec-z12dmn
MFC 2: O2 50 slm HORIBA Stec sec-z12dmn
MFC 3: O2 5 slm HORIBA Stec sec-z11dm
MFC 7: H2 20 slm HORIBA Stec sec-z12dm
MFC 8: H2 3 slm HORIBA Stec sec-z514mgx
MFC 11: He 30 slm HORIBA Stec sec-z12dm
MFC 12: He 50 slm HORIBA Stec sec-z12dm
MFC 13: N2 100 slm HORIBA Stec sec-z12dmn
WRLD Maglev assembly, P/N: 0190-14175
Interface options:
OHT WIP Delivery
Loadports
Enhanced 25-wafer foup
OHT Light curtain
Chamber A interface: Radiance interface panel, P/N: 0465-07030
Chamber B interface: Radiance interface panel, P/N: 0465-07031
Remote options system monitor:
Monitor 1: Flat panel with keyboard on stand, P/N: 0395-00099
Monitor 1 cable, 25 Foot
Monitor 2: Through the wall flat panel with keyboard, P/N: 0460-50048
Monitor 2 cable, 25 Foot
Umbilicals:
Chamber AC Box to heat exchange, 75 Feet
H/A, AMAT / APPLIED MATERIALS KVM to user interface with EVC, 25 FT
P/N: 0140-06462 / 0150-13813 / 0150-14109
Robot, YASKAWA BTV Darp manipulator, QS Vantage FI, P/N: 0220-39516
Reflective wafer on blade, P/N: 0220-39702
Cables, P/N: 0150-14109 / 0150-13813 / 0140-06462
(2) Facility brackets / Covers
(2) Front monitors, keyboards & bezels
Exhaust line and KF flex hoses
Gas line adapter: 90° Elbows
Options & electrical requirements:
Line voltage: 200/208 V
System safety equipment
Mainframe
Process chamber options
No heat exchange
No rough pumps
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der verwendet wird, um hochpräzise Schichten in mikroelektronischen Schaltungen zu bilden. Dieser Prozessor ist darauf ausgelegt, kleine Substrate über einen weiten Bereich von Temperaturen schnell zu erwärmen und bietet eine hervorragende thermische Kontrolle über den gesamten Prozess. AMAT Vantage ist mit einem kompakten Formfaktor hergestellt, der in die meisten Produktionslinien-Fußabdrücke passen kann und eine zuverlässige und enge thermische Kontrolle bietet. Der Prozessor nutzt ein anpassbares Kammerdesign und bietet Anwendern sowohl High-End-Prozesssteuerung als auch hervorragende Wiederholbarkeit. ANGEWANDTE MATERIALIEN Vantage ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, die eine unübertroffene Kontrolle und Stabilität bieten. Die Rapid Thermal Processing (RTP) Technologie ist in der Maschine implementiert, um schnelle und einfache Temperaturübergänge zu ermöglichen. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern, Substratheiz- und Kühlgeschwindigkeiten genau zu steuern und gleichmäßige Temperaturen während des gesamten Prozesses zu erzielen. Darüber hinaus ist der Prozessor mit einem einstellbaren und abstimmbaren Infrarot (IR) -Sensor ausgestattet, mit dem die Substrattemperaturen gemessen werden. Diese Funktion bietet Benutzern Echtzeitdaten, mit denen sie während des thermischen Prozesses Anpassungen vornehmen können. Der eingebettete Regelkreis innerhalb von Vantage ermöglicht es dem Anwender auch, die Erwärmung und Kühlung des Substrats genau zu steuern. AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage enthält auch eine Reihe von zusätzlichen Sicherheitsmerkmalen, die eine sichere Arbeitsumgebung gewährleisten. Zu diesen Sicherheitsmerkmalen gehören ein dreischichtiger Sicherheitsvorhang mit schlagfestem Polymermaterial sowie ein fortschrittliches Dualfiltrationssystem zur Luftreinigung. Darüber hinaus verwendet der Prozessor fortschrittliche Bewegungsverarbeitungsalgorithmen, um potenzielle Gefahren innerhalb der Kammer genau vorherzusagen. Insgesamt ist AMAT Vantage eine ideale Wahl für Unternehmen, die kleine Substrate schnell erwärmen möchten. Dieser Prozessor nutzt innovative Funktionen, die Anwendern höchste Prozesskontrolle und Zuverlässigkeit bieten. Darüber hinaus ist APPLIED MATERIALS Vantage mit einer Vielzahl von Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die eine sichere Arbeitsumgebung bei der Verwendung der Maschine gewährleisten.
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