Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage #9284534 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Rapid Thermal Processor ist eine fortschrittliche thermische Verarbeitungsausrüstung, die es Halbleiterbauelementeherstellern ermöglicht, Halbleiterprodukte höchster Qualität in schnellstmöglicher Zeit herzustellen. Es bietet thermisches Cycling mit Millisekunden-Transientensteuerung, präzisen Temperaturprofilen und ausgeklügelten Gaszuführungsoptionen. AMAT Vantage RTP ist eines der anspruchsvollsten thermischen Verarbeitungswerkzeuge für die Halbleiterindustrie. ANGEWANDTE MATERIALIEN Vantage RTP verwendet mehrere Heizelemente, um bei jedem Bearbeitungsschritt eine präzise Temperaturregelung zu gewährleisten. Diese Heizelemente bestehen aus einem Infrarotstrahler (IR), der Wärme abstrahlt, und einer Heißgasquelle, die Wärme überträgt. Der IR-Strahler und der Heißgasgenerator sind in einem Array von zwei oder drei Modulen angeordnet, um eine genaue Temperaturregelung zu ermöglichen. Die Wärme wird durch die aktive Steuerung des IR-Kühlers und der Heißgasquelle geregelt, um sicherzustellen, dass die genaue Wärmemenge auf den Wafer aufgebracht wird. Vantage RTP bietet auch PCC-System (Process Chamber Communication) an, mit dem der Benutzer in Echtzeit mit dem Gerät interagieren kann. Diese PCC-Maschine bietet über eine grafische Benutzeroberfläche eine direkte Rückmeldung des aktuellen Temperaturprofils, der Kammerverschlussbewegung, des Temperaturalarms und anderer Parameter. Darüber hinaus bietet das Tool automatisierte Echtzeit-Protokollierung für Data Mining und detaillierte Nachbearbeitung. So können Anwender bei Bedarf auf Prozessdaten zurückblicken und Prozessanpassungen vornehmen. AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage RTP verfügt über einen Mikro-Prozessor mit einer umfassenden Reihe von Funktionen, die eine präzise Kontrolle über das thermische Profil bieten und gleichzeitig die Bearbeitungsflexibilität ermöglichen. Beispielsweise verfügt AMAT Vantage RTP über einen Mehrpunkt-Temperaturprofilmodus, einen Hochgeschwindigkeits-Rampenfrequenzmodus, einen Tieftemperatur-Bake-out-Modus und einen Tieftemperatur-Schnellglühmodus. Diese benutzerprogrammierbaren Funktionen ermöglichen es Benutzern, das thermische Profil an ihre spezifischen Anforderungen anzupassen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Vantage RTP enthält auch eine bordeigene Gaskontrollanlage (GCS), die eine präzise Temperaturregelung und Überwachung der atmosphärischen Zusammensetzung bietet. Das GCS ermöglicht es Benutzern auch, spezifische Gasgemische und Rückkopplungssteuerung für eine genaue atmosphärische Steuerung zu mischen. Dies gewährleistet genaue und wiederholbare Verarbeitungsbedingungen. Insgesamt ist Vantage RTP ein leistungsstarkes und anspruchsvolles thermisches Verarbeitungsmodell. Es bietet eine präzise Temperaturregelung und benutzerprogrammierbare Funktionen, so dass Kunden das thermische Profil auf ihre spezifischen Bedürfnisse abstimmen können. Darüber hinaus ermöglicht das GCS den Anwendern die Überwachung und Steuerung der Atmosphäre in der Prozesskammer. Dies gewährleistet genaue und wiederholbare Verarbeitungsbedingungen.