Gebraucht APSYSTEM Korona 1200+ #9270686 zu verkaufen
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APSYSTEM Korona 1200 + ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der entwickelt wurde, um den Durchsatz in vielen Dünnschichtanwendungen zu maximieren. Die Geräte verfügen über eine fortschrittliche Prozesskontrolltechnologie, die eine Optimierung sowohl für die Wiederholbarkeit als auch für die Effizienz ermöglicht. Das RTP nutzt die neueste Quarz-Suszeptor-Technologie und ist in der Lage, Temperaturen bis zu 1100 ° C zu verarbeiten. Korona 1200 + ist optimal für die Verarbeitung kleiner Chargen, variabler Substrate und schwieriger Materialien, unter Beibehaltung eines ausgezeichneten Durchsatzes und Wiederholbarkeit. Das RTP verwendet einen CMOS-basierten Controller mit rein gehärteten Software-Algorithmen, der eine enge Temperaturregelung innerhalb von +/-2 ° C des Sollwerts ermöglicht. Der fortschrittliche PID-Algorithmus im Controller ermöglicht die Stabilisierung und Abstimmung des Prozesses auf optimale Effizienz, wodurch der Durchsatz des Systems weiter verbessert wird. Der Controller bietet auch eine bequeme Möglichkeit, den Prozess in Echtzeit zu überwachen, sowie historische Trends für Analyse- und Debugging-Zwecke zu verfolgen. Das Gerät ist kompakt und robust aufgebaut und ermöglicht eine einfache Integration in bestehende Halbleiterfabriken sowie platzsparende Laboreinstellungen. Der Kühlkreislauf im geschlossenen Kreislauf hilft, Wärme effizienter abzuführen und gleichzeitig die für den RTP-Betrieb notwendige genaue Temperaturregelung beizubehalten. Im Allgemeinen zeichnet sich APSYSTEM Korona 1200 + durch Wafer-Level-Verarbeitung und komplexe Dünnschicht-Prozessschritte aus. Seine Flexibilität in Temperaturbereichen, schnelle Umdrehungszeiten und VOC-Compliance haben es zu einer beliebten Wahl in vielen verschiedenen F&E- und Produktionseinstellungen gemacht. Die Maschine bietet auch eine breite Palette von Prozessoptionen, einschließlich schnell thermisch programmiertes Glühen, Oxidation, Nitridation, Verunreinigungsglühen und Metallisierung/Abscheidung. Abschließend ist Korona 1200 + ein hochqualitativer Rapid Thermal Processor, der eine effiziente und wiederholbare Verarbeitung für zahlreiche Dünnschichtanwendungen bietet. Das robuste Feature-Set in Verbindung mit den fortschrittlichen Software-Algorithmen sorgt für eine Lösung, die wärmeempfindliche Substrate mit überlegenem Durchsatz zuverlässig verarbeiten kann.
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