Gebraucht APSYSTEM Korona 1200+ #9270851 zu verkaufen

APSYSTEM Korona 1200+
ID: 9270851
Rapid Thermal Processing (RTP) systems.
APSYSTEM Korona 1200 + ist ein schneller thermischer Prozessor für die thermische Verarbeitung von Wafern und Substraten in einer Vielzahl von Anwendungen. Diese leistungsstarke Ausrüstung bietet eine überlegene Prozesssteuerung, schnelle Zykluszeiten, hohe Temperaturgenauigkeit, niedrige Wärmezyklen und extrem niedrige thermische Überschwingungen, um sehr wiederholbare Ergebnisse zu erzielen. Das System besteht aus einer leistungsstarken Schnellwärmeprozessorkammer, einer Schnellwärmesteuereinheit und mehreren Steuer-/Sensorsystemen. Die schnelle thermische Prozessorkammer arbeitet unter Hochvakuum, um eine saubere, stark wiederholbare thermische Umgebung zu schaffen. Die Kammer, beheizt durch acht heiße Zonensegmente, verwendet Stickstoff oder Argon, um Substrate mit hohem Kraftstoffwirkungsgrad schnell zu erwärmen und zu kühlen. Die Präzisionstemperatur-Steuereinheit kombiniert fortschrittliche Steuerungsalgorithmen mit Temperatursensoren rund um den Wafer, um gleichmäßige Temperaturen über den Wafer zu halten. Die bordeigenen Steuer-/Sensorsysteme bieten eine Bedienoberfläche zur Programmierung und Überwachung des Temperaturprofils. Mit der grafischen Benutzeroberfläche von Korona 1200 + können Bediener Temperaturinformationen in Echtzeit überwachen und Zugriff auf gemessene und gespeicherte thermische Daten aus gespeicherten Rezepten haben. Echtzeit-Temperaturdaten können verwendet werden, um die Genauigkeit eines thermischen Zyklus zu überprüfen oder nicht betriebsfähige Bedingungen aufzudecken. APSYSTEM Korona 1200 + ist präzise aufgebaut, mit elektrisch isolierten Heizelementen und einer integrierten mikroelektronischen Steuerungsmaschine, um hochpräzise thermische Zyklen in den unterschiedlichsten Substratgrößen und Dickenbereichen bereitzustellen. Die präzise Temperaturregelung sorgt dafür, dass die gewünschten Effekte bei der thermischen Verarbeitung erzielt werden. Korona 1200 + wurde entwickelt, um schnelle thermische Verarbeitungsfähigkeiten für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen bereitzustellen. Seine fortschrittlichen Steuerungs- und Überwachungssysteme, überlegene Prozesssteuerung, präzise Temperaturregelung und schnelle Zykluszeiten machen es zu einer beliebten Wahl für Operationen, die konsistente, wiederholbare Ergebnisse erfordern.
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