Gebraucht APSYSTEM KORONA-1200P #9311066 zu verkaufen
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ID: 9311066
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Metal RTN system, 12"
Process: IMP
2005 vintage.
APSYSTEM KORONA-1200P ist ein hochmoderner Schnellwärmeprozessor, ein hochproduktives Fertigungswerkzeug zur zuverlässigen thermischen Verarbeitung von Halbleiterbauelementen und -materialien. Der Prozessor bietet überlegene Leistung für schnelle Glüh-, Diffusions- und Oxidationsprozesse. KORONA-1200P bietet eine hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit und Kontrolle in der gesamten Kammer für verbesserte Prozessergebnisse. Es verwendet eine schnelle Heizung/Kühlung Ausrüstung von Infrarotlampen und thermoelektrischen Kühler, was zu Temperaturrampenraten bis zu 60 ° C/sec und Temperaturregelung zu ± 2oC. Die robusten Plasmakohlenwasserstoffabsetzungsionsquellen bieten schnell das Ausglühen / Verbreitung / Oxydation und andere Prozesssteuerung für stabile Hochleistungsergebnisse. Das System bietet eine automatisierte Gasfördereinheit für die exakte Abgabe von Prozessgasen sowie einen integrierten Ofen für die Trockenfeuerung. Die integrierte CVD-Maschine umfasst Stickstoff-Sauerstoff (N2O2) und Standard-Abgaswasserwäscher für einen sauberen und sicheren Betrieb. Darüber hinaus umfasst es eine integrierte Gleichstromversorgung, einen Vakuum-UV-Photodetektor (VUV) und eine Quarzkristall-Mikrowaage (QCM) zur präzisen Prozesssteuerung. APSYSTEM KORONA-1200P verfügt über einen programmierbaren Controller mit menügesteuerten Eingängen, der eine bedienerunabhängige Einstellung von Prozessparametern und Inbetriebnahme ermöglicht. Es bietet einen modularen Aufbau mit benutzereinstellbaren Komponenten und flexiblen Automatisierungsoptionen, einschließlich Robotik und Prozessüberwachung. Der Prozessor bietet eine ideale Lernlösung für Labore und Forschungs- und Entwicklungsanwendungen. Mit seinen fortschrittlichen Softwarelösungen und Fernbedienungsfunktionen können Benutzer ihre Prozessparameter von einem entfernten Standort aus ausführen, überwachen und verwalten. KORONA-1200P ist ein leistungsfähiges, ausgeklügeltes und zuverlässiges, schnelles thermisches Bearbeitungswerkzeug. Es ist die optimale Lösung, um hochwertige und zuverlässige mikroelektronische Produkte schnell und kostengünstig herzustellen.
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